上海超硅半导体股份有限公司;重庆超硅半导体有限公司陈正礼获国家专利权
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龙图腾网获悉上海超硅半导体股份有限公司;重庆超硅半导体有限公司申请的专利检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223154250U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422444856.X，技术领域涉及：G01B21/24；该实用新型检测装置是由陈正礼;何佳佳;何卫;彭海鲸设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种检测装置，属于半导体技术领域。检测装置包括承载单元，包括载台以及设置于所述载台上的第一卡盘和第二卡盘，所述第一卡盘的中轴线与所述第二卡盘的中轴线相同，所述第一卡盘和或所述第二卡盘能够沿第一方向移动用于夹紧或释放晶棒；检测单元，包括安装架和偏心测量机构，所述偏心测量机构设置于所述安装架上且能够沿所述第一方向移动，所述偏心测量机构用于检测所述晶棒的偏心度，本实用新型用于监控晶棒偏心数据，便于及时调整相关工艺参数，降低未滚圆面积，从而降低生产成本，提高晶棒良率。
本实用新型检测装置在权利要求书中公布了：1.检测装置，其特征在于，包括： 承载单元1，包括载台11以及设置于所述载台11上的第一卡盘12和第二卡盘13，所述第一卡盘12的中轴线与所述第二卡盘13的中轴线相同，所述第一卡盘12和或所述第二卡盘13能够沿第一方向移动用于夹紧或释放晶棒100； 检测单元2，包括安装架21和偏心测量机构22，所述偏心测量机构22设置于所述安装架21上且能够沿所述第一方向移动，所述偏心测量机构22用于检测所述晶棒100的偏心度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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