芯恩(青岛)集成电路有限公司陶祥先获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利气体混合装置及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223144583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422288532.1,技术领域涉及:B01F33/81;该实用新型气体混合装置及半导体设备是由陶祥先;申家宁;潘如超设计研发完成,并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体混合装置及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种气体混合装置及半导体设备,包括:依次连接的第一混合管段、加速管段、第二混合管段、旋流管段以及排出管段;所述第一混合管段的内径大于所述排出管段的内径,所述排出管段的内径大于所述第二混合管段的内径;所述加速管段的内径自所述第一混合管段至所述第二混合管段的方向逐渐减小;所述旋流管段的内径自所述第二混合管段至所述排出管段的方向逐渐增大。本实用新型通过内径不同的管段:所述第一混合管段、所述加速管段、所述第二混合管段、所述旋流管段以及所述排出管段,可以改变气体流速、气体流动方向,以增加气体的混合效果,提高气体混合的均匀性。
本实用新型气体混合装置及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种气体混合装置,其特征在于,包括:依次连接的第一混合管段、加速管段、第二混合管段、旋流管段以及排出管段; 所述第一混合管段的内径大于所述排出管段的内径,所述排出管段的内径大于所述第二混合管段的内径; 所述加速管段的内径自所述第一混合管段至所述第二混合管段的方向逐渐减小; 所述旋流管段的内径自所述第二混合管段至所述排出管段的方向逐渐增大。
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