浙江芯微泰克半导体有限公司刘启洋获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯微泰克半导体有限公司申请的专利镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223150632U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422305490.8,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型镀膜装置是由刘启洋设计研发完成,并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种镀膜装置。镀膜装置包括镀锅、承载圈以及盖板。镀锅包括载环孔。载环孔贯穿镀锅。承载圈位于载环孔内。盖板与承载圈相配合。盖板包括通气开口,通气开口沿盖板的径向贯穿盖板。至少一个通气开口与盖板的边缘相邻。如此设置,外界的空气能够较快地从通气开口流入至盖板内侧的边缘处,更明显地减小提拉盖板时盖板的边缘与其下方的半导体结构之间的吸附力,降低吸附力较大而将半导体结构吸起致使半导体结构损伤的风险。
本实用新型镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种镀膜装置,其特征在于,包括: 镀锅,包括载环孔,所述载环孔贯穿所述镀锅; 承载圈,位于所述载环孔内; 盖板,与所述承载圈相配合,所述盖板包括通气开口,所述通气开口沿所述盖板的径向贯穿所述盖板,至少一个所述通气开口与所述盖板的边缘相邻。
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