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苏州智谱蔚星智能科技有限公司赵高升获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州智谱蔚星智能科技有限公司申请的专利一种三管同轴的低气压辅助端面增强微波等离子体离子源获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223157278U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422279222.3,技术领域涉及:H05H1/30;该实用新型一种三管同轴的低气压辅助端面增强微波等离子体离子源是由赵高升;季珈帆;施月娥;姜娇娇;赵彬锋设计研发完成,并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种三管同轴的低气压辅助端面增强微波等离子体离子源在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种三管同轴的低气压辅助端面增强微波等离子体离子源,由内管、中管、真空密封圈一、真空密封圈二、外管、微波固态源、微波传输线、密封垫、真空抽气管、真空泵、真空密封圈三、微波增强电极、低气压微波等离子体组成。该离子源采用三管同轴结构和真空密封设计,有效降低了等离子体产生区域的气压,减少了信号背景干扰,并使等离子体稳定性大幅提高。采用微波增强电极,进一步增强端面的电场强度,提升了微波等离子体的激发效率和稳定性。与现有技术相比,本实用新型不仅简化了结构设计,还优化了离子源的工作参数,提高了质谱分析的灵敏度和准确性,实现了高效、稳定的分析性能。本实用新型设计合理,结构紧凑,调节方便。

本实用新型一种三管同轴的低气压辅助端面增强微波等离子体离子源在权利要求书中公布了:1.一种三管同轴的低气压辅助端面增强微波等离子体离子源,其特征在于,由内管(1)、中管(2)、真空密封圈一(3)、真空密封圈二(4)、外管(5)、微波固态源(6)、微波传输线(7)、密封垫(8)、真空抽气管(9)、真空泵(10)、真空密封圈三(11)、微波增强电极(12)、低气压微波等离子体(13)组成;其中内管(1)位于中管(2)的中心位置,中管(2)位于外管(5)的中心位置,真空密封圈一(3)位于内管(1)与中管(2)之间,真空密封圈二(4)位于中管(2)与外管(5)之间,外管(5)位于中管(2)外部,微波固态源(6)位于微波传输线(7)上方与微波传输线(7)连接,微波传输线(7)位于中管(2)与微波固态源(6)之间,密封垫(8)位于微波传输线(7)与外管(5)之间,真空抽气管(9)位于外管(5)后部,真空泵(10)与真空抽气管(9)连接,真空密封圈三(11)位于外管(5)与微波增强电极(12)之间,微波增强电极(12)位于外管(5)和真空密封圈三(11)后端,低气压微波等离子体(13)位于内管(1)后端,处在微波增强电极(12)内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州智谱蔚星智能科技有限公司,其通讯地址为:215217 江苏省苏州市吴江区江陵街云创路233号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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