安徽崇盛光电科技有限公司王建东获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽崇盛光电科技有限公司申请的专利一种薄膜晶体管生产的成膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223150636U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422276629.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种薄膜晶体管生产的成膜装置是由王建东设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜晶体管生产的成膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于薄膜晶体管成膜设备技术领域，具体为一种薄膜晶体管生产的成膜装置，包括：设备主体及其上方的载入箱、载出箱和沉积箱，载入箱的内部设有载台；所述载台的上方设有限位架，通过内部的顶板抵住硅片使其定位至载台表面的中心位置，所述限位架的下方设有与载台外侧卡座对接的塞板，所述载台的邻近外侧位置上方设有凸台，所述限位架的内部设有底座，在限位架下压时抵住凸台被向内挤压形成滑移，以控制顶板的使用位置。本实用新型利用相邻顶板同时移动的方式自动完成产品的定位，使其摆放至预定位置并由压板自动固定，达到精准沉积成膜的效果，同时降低后续的操作难度，以提高设备的生产效率、质量以及使用效果。
本实用新型一种薄膜晶体管生产的成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种薄膜晶体管生产的成膜装置，其特征在于，包括： 设备主体1及其上方的载入箱2、载出箱3和沉积箱4，载入箱2的内部设有载台5； 所述载台5的上方设有限位架6，通过内部的顶板7抵住硅片使其定位至载台5表面的中心位置，所述限位架6的下方设有与载台5外侧卡座14对接的塞板13，所述载台5的邻近外侧位置上方设有凸台10，所述限位架6的内部设有底座16，在限位架6下压时抵住凸台10被向内挤压形成滑移，以控制顶板7的使用位置； 所述顶板7的下方设有吊板11，用于适应顶板7与载台5表面的间距，所述吊板11的下方设有座板22贴合于载台5的表面，用于保持与顶板7处一侧压板23的横向状态，压板23用于挤压硅片将其固定方便于载台5的操作。
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