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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种晶圆等离子表面活性化设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155975U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422271922.8，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种晶圆等离子表面活性化设备是由张文庆;玄龙浩设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆等离子表面活性化设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆等离子表面活性化设备，属于用于处理半导体部件的设备技术领域。本实用新型通过ICP线圈产生的强磁场，有效激发了腔室内的气体分子，形成了高密度、高活性的等离子体；将ICP反应器设置在所述活化腔室上侧，且所述活化腔室与所述ICP反应器之间采用绝缘的陶瓷隔离板隔离，ICP电磁感应可以穿透所述隔离板，所述隔离板既保证了活化腔室的密闭性，又有效隔绝了ICP反应器的高温环境，防止ICP反应器内部的高温对活化腔室造成不利影响；将ICP线圈设置在内筒和外筒之间，且在外筒上设置散热风扇，还在活化腔室内设置散热盘管，提高了散热效果，从而能够有效降低了活化腔室内的温度。

本实用新型一种晶圆等离子表面活性化设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆等离子表面活性化设备，其特征在于，包括射频电源模块100、ICP反应器200、反应器上盖300、隔离板400、活化腔室500、抽真空系统910和气体泵送管路920； 所述ICP反应器200包括ICP线圈210、内筒220和外筒230，所述外筒230套设在所述内筒220外侧，所述外筒230与所述内筒220之间形成外腔，所述ICP线圈210呈螺旋状安装在所述外腔内并与所述射频电源模块100电连接，所述外筒230的筒壁上设有多个均匀分布的散热风扇240； 所述反应器上盖300以能够开合的方式安装在所述ICP反应器200上方，所述ICP反应器200位于所述活化腔室500的上侧，所述隔离板400位于所述活化腔室500与所述ICP反应器200之间； 所述活化腔室500的侧壁上设有晶圆入口540，所述活化腔室500内设有晶圆载台510、晶圆顶升针520和冷却盘管530，所述晶圆载台510固定在所述活化腔室500内，所述冷却盘管530设置在所述晶圆载台510的下方，所述晶圆载台510上设有通孔，所述晶圆顶升针520以能够升降的方式安装在所述通孔内； 所述活化腔室500的底部设有抽气口550，所述抽真空系统910通过所述抽气口550与所述活化腔室500连通；所述活化腔室500的顶部设有进气口560，所述气体泵送管路920通过所述进气口560与所述活化腔室500连通，所述抽气口550和所述进气口560均位于所述活化腔室500的中心线上。

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