广东省傲来科技有限公司袁振坤获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省傲来科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆承片台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223156008U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422284829.0，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种半导体晶圆承片台是由袁振坤;李瑞设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆承片台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体晶圆承片台，涉及半导体制造技术领域，解决了现有半导体晶圆承片台的chuck转台在旋转时，具有较大的摩擦阻力，容易影响旋转精度和拉直精度的技术问题。该承片台包括转台和支撑结构，所述转台设置在所述支撑结构上方，且所述转台的一端贯穿所述支撑结构与所述支撑结构上的直线旋转轴承活动连接；所述转台用于承载吸附晶圆，并带动所述晶圆进行检测；所述支撑结构用于吸附支撑所述转台或气浮支撑所述转台。本实用新型通过支撑结构对转台进行气浮支撑，减小转台旋转时支撑结构对转台产生的摩擦阻力，提高转台的旋转精度，从而提高晶圆的拉直精度。
本实用新型一种半导体晶圆承片台在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆承片台，其特征在于，包括转台1和支撑结构2，所述转台1设置在所述支撑结构2上方，且所述转台1的一端贯穿所述支撑结构2与所述支撑结构2上的直线旋转轴承23活动连接；所述转台1用于承载吸附晶圆，并带动所述晶圆进行检测；所述支撑结构2用于吸附支撑所述转台1或气浮支撑所述转台1。
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