深圳市凯尔迪光电科技有限公司郑国绍获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市凯尔迪光电科技有限公司申请的专利一种晶圆盒拆盖装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223156003U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422254212.4,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种晶圆盒拆盖装置是由郑国绍;李生辉;曾志家设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒拆盖装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,尤其为一种晶圆盒拆盖装置,包括连接座,所述连接座上端设置有盒体,所述盒体上端左部和上端右部均固定连接有夹持板,所述连接座上端前部固定安装有安装框架,所述安装框架后端安装有后封闭板,所述安装框架前端安装有前封闭板,所述后封闭板前端中部安装有拆盖机构,所述后封闭板前端右下角设置有控制面板,所述前封闭板后端四角均设置有吸盘。本实用新型所述的一种晶圆盒拆盖装置,相比传统的人工拆装,做到了自动化拆装,减少了人工成本,降低了清洗后二次造成的污染,确保了清洗后晶圆盒内部环境的洁净度,也使整个晶圆盒清洗工艺流程更加优化,减少了清洗工艺上的多余动作。
本实用新型一种晶圆盒拆盖装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒拆盖装置,包括连接座1,其特征在于:所述连接座1上端设置有盒体2,所述盒体2上端左部和上端右部均固定连接有夹持板3,所述连接座1上端前部固定安装有安装框架4,所述安装框架4后端安装有后封闭板5,所述安装框架4前端安装有前封闭板6,所述后封闭板5前端中部安装有拆盖机构7,所述后封闭板5前端右下角设置有控制面板8,所述前封闭板6后端四角均设置有吸盘9; 所述拆盖机构7包括气缸71,所述气缸71的输出端固定连接有连接条72,所述连接条72前端固定连接有移动板73,所述移动板73左端和右端均开设有穿通的滑槽74,两个所述滑槽74内均滑动连接有滑柱75,两个所述滑柱75后端均固定连接有连接块76,两个所述连接块76后端均设置有旋钮77,两个所述旋钮77后端均设置有锁止机构78。
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