郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种用于抛光机的取片手臂获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223146746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422238710.X,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种用于抛光机的取片手臂是由吴泓明;钟佑生;陈志刚;周军磊;李常存设计研发完成,并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于抛光机的取片手臂在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于抛光机的取片手臂,包括连接块、吸盘、伸缩杆以及驱动装置;所述吸盘与所述连接块固定连接;所述伸缩杆一端与所述连接块固定连接,另一端与所述驱动装置连接,且在所述驱动装置的作用下可带动所述连接块与所述吸盘往复移动;所述连接块与所述吸盘之间设有防尘挡板。本申请通过对抛光机的取片手臂做进一步的改进,在手臂上增加防尘挡板使手臂在取放晶片的过程中导向轨与气缸杆所产生的碎屑掉落至防尘挡板上,从而避免碎屑掉落至晶片表面导致产品出现平坦度、金属、颗粒等品质异常,可以有效提高产品良率。因此本申请所提供的抛光机取片手臂在半导体晶片加工制作工艺中具有较好的实用价值和技术改进意义。
本实用新型一种用于抛光机的取片手臂在权利要求书中公布了:1.一种用于抛光机的取片手臂,其特征在于,包括连接块、吸盘、伸缩杆以及驱动装置; 所述吸盘与所述连接块固定连接; 所述伸缩杆一端与所述连接块固定连接,另一端与所述驱动装置连接,且在所述驱动装置的作用下可带动所述连接块与所述吸盘往复移动; 所述连接块与所述吸盘之间设有防尘挡板。
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