北京北方华创微电子装备有限公司常旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利应用于半导体设备的自动补液系统及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223144664U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422206505.5，技术领域涉及：B01J4/00；该实用新型应用于半导体设备的自动补液系统及半导体设备是由常旭东;祖梦硕设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本应用于半导体设备的自动补液系统及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种应用于半导体设备的自动补液系统及半导体设备，该系统包括：源瓶、源补给端和气压调节机构；所源瓶包括进气端、出气端和补液端；源瓶的进气端与载气注入管路连接，源瓶的出气端用于与反应腔室连通，源瓶用于盛放液体反应源，并向反应腔室提供气态的反应源；源补给端与源瓶的补液端连通，源补给端用于为源瓶提供液体反应源；气压调节机构用于在需要对源瓶进行补液时调节源瓶的气压，使源瓶内的气压低于源补给端的气压，以使源补给端的液体反应源能够被吸入源瓶内。本实用新型能够提高半导体工艺设备的工作效率及液体反应源的洁净度。
本实用新型应用于半导体设备的自动补液系统及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体设备的自动补液系统，其特征在于，所述自动补液系统用于向所述半导体设备的反应腔室提供反应源，所述自动补液系统包括：源瓶、源补给端和气压调节机构； 所源瓶包括进气端、出气端和补液端； 所述源瓶的进气端与载气注入管路连接，所述源瓶的出气端用于与所述反应腔室连通，所述源瓶用于盛放液体反应源，并向所述反应腔室提供气态的反应源； 所述源补给端与所述源瓶的补液端连通，所述源补给端用于为所述源瓶提供所述液体反应源； 所述气压调节机构用于在需要对所述源瓶进行补液时调节所述源瓶的气压，使所述源瓶内的气压低于所述源补给端的气压，以使所述源补给端的液体反应源能够被吸入所述源瓶内。
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