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贵州铜仁旭晶光电科技有限公司周荣铿获国家专利权

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龙图腾网获悉贵州铜仁旭晶光电科技有限公司申请的专利一种光学镀膜用反射式镀膜厚度监控系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223154214U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422195658.4,技术领域涉及:G01B11/06;该实用新型一种光学镀膜用反射式镀膜厚度监控系统是由周荣铿设计研发完成,并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种光学镀膜用反射式镀膜厚度监控系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种光学镀膜用反射式镀膜厚度监控系统,其包括监控片放置装置、传动装置、驱动装置和光控装置;传动装置包括旋转传动筒;监控片放置装置包括光控托盘,于光控托盘上可转动地设置有用于固定圆环监控片的监控片定座,监控片定座与旋转传动筒固定连接;圆环监控片按照第一额定角度划分若干组光控监控点,贯穿光控托盘设置有镀膜通孔,镀膜通孔对应光控监控点设置;光控装置包括光源、聚焦透镜和测量机构,聚焦透镜的焦点对应光控监控点设置,光源通过第一光纤与聚焦透镜光学连接以实现向圆环监控片输出光束,聚焦透镜通过第二光纤与测量机构光学连接以实现接收经圆环监控片的反射光,并根据反射光感应光量变化以测量镀膜厚度。

本实用新型一种光学镀膜用反射式镀膜厚度监控系统在权利要求书中公布了:1.一种光学镀膜用反射式镀膜厚度监控系统,其特征在于,其包括监控片放置装置、传动装置、驱动装置和光控装置,所述监控片放置装置设置于真空室中; 所述传动装置包括旋转传动筒,所述旋转传动筒与所述驱动装置传动连接; 所述监控片放置装置包括安装于所述真空室的底部的光控托盘,于所述光控托盘上可转动地设置有用于固定圆环监控片的监控片定座,所述监控片定座与所述旋转传动筒固定连接; 所述圆环监控片按照第一额定角度划分若干组光控监控点,贯穿所述光控托盘设置有用于供所述圆环监控片镀膜的镀膜通孔,所述镀膜通孔对应所述光控监控点设置; 所述光控装置包括光源、聚焦透镜和测量机构,所述聚焦透镜的焦点对应所述光控监控点设置,所述光源通过第一光纤与所述聚焦透镜光学连接以实现向所述圆环监控片输出光束,所述聚焦透镜通过第二光纤与所述测量机构光学连接以实现接收经所述圆环监控片的反射光,并根据所述反射光感应光量变化以测量镀膜厚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人贵州铜仁旭晶光电科技有限公司,其通讯地址为:554300 贵州省铜仁市高新技术产业开发区电商园二期;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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