深圳瑞科曼环保科技有限公司梁汝青获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳瑞科曼环保科技有限公司申请的专利一种集成电路行业有机尾气净化处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223144430U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422179196.7,技术领域涉及:B01D53/04;该实用新型一种集成电路行业有机尾气净化处理装置是由梁汝青;周璐发;冯求宝;刘春;陈海灵设计研发完成,并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成电路行业有机尾气净化处理装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种集成电路行业有机尾气净化处理装置,包括进气主管和出气主管,且所述进气主管和出气主管之间设有两个并联设置的废气吸附单元,且两个废气吸附单元交替工作,废气吸附单元的进气端和出气端均设有阀门,所述废气吸附单元的出气端还设有用于对净化后的气体进行检测的尾气在线监测仪,还包括控制器,所述阀门以及尾气在线监测仪均与控制器连接;本实用新型废气吸附单元交替工作,来对低浓度的尾气进行吸附,而吸附饱和后的吸附剂填料层则可以进行高温燃烧还原,这样可以重复进行使用,有效降低了使用成本。
本实用新型一种集成电路行业有机尾气净化处理装置在权利要求书中公布了:1.一种集成电路行业有机尾气净化处理装置,其特征在于,包括进气主管(1)和出气主管(2),且所述进气主管(1)和出气主管(2)之间设有两个并联设置的废气吸附单元(3),且两个废气吸附单元(3)交替工作,废气吸附单元(3)的进气端和出气端均设有阀门(4),所述废气吸附单元(3)的出气端还设有用于对净化后的气体进行检测的尾气在线监测仪(5),还包括控制器,所述阀门(4)以及尾气在线监测仪(5)均与控制器连接; 且所述废气吸附单元(3)包括壳体(7),所述壳体(7)内设有填料架(8),且所述填料架(8)内放置有多个吸附剂填料层(9),且所述壳体(7)内还设有用于将填料架(8)推出的推出机构(10)。
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