拓荆科技(上海)有限公司李旭峰获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利喷淋板测温平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223154396U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422146288.5，技术领域涉及：G01K7/02；该实用新型喷淋板测温平台是由李旭峰;吴凤丽;黄明策;张驰设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋板测温平台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种喷淋板测温平台，该喷淋板测温平台包括：平台、上盖板、喷淋板、加热元件和多个测温元件，上盖板，盖合在所述平台上，所述上盖板与所述平台之间形成有空腔；喷淋板，设于所述空腔中并安装于所述上盖板，所述喷淋板的上表面布置有多个位置不同的测温点；加热元件，设于所述平台和或所述上盖板，所述加热元件配置为对所述喷淋板进行加热；多个测温元件，穿过所述上盖板并对多个所述测温点一一对应进行测温。本申请可以测量出喷淋板上多个不同位置的温度，无需人为安装晶圆测试小块，位置具有重复性且位置更加精准，能够满足对特定位置检测温度的需求，提高了测温的准确性，而且不会脱落，提高了测温的可靠性。
本实用新型喷淋板测温平台在权利要求书中公布了：1.一种喷淋板测温平台，其特征在于，包括： 平台； 上盖板，盖合在所述平台上，所述上盖板与所述平台之间形成有空腔； 喷淋板，设于所述空腔中并安装于所述上盖板，所述喷淋板的上表面布置有多个位置不同的测温点； 加热元件，设于所述平台和或所述上盖板，所述加热元件配置为对所述喷淋板进行加热； 多个测温元件，穿过所述上盖板并对多个所述测温点一一对应进行测温。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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