苏州迈格诺科洁净材料有限公司范学文获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迈格诺科洁净材料有限公司申请的专利一种多通道超纯气体通断控制模块获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223155385U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422050070.X,技术领域涉及:G05B19/042;该实用新型一种多通道超纯气体通断控制模块是由范学文;李天龙设计研发完成,并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多通道超纯气体通断控制模块在说明书摘要公布了:本实用新型属于气体输送设备技术领域,涉及一种多通道超纯气体通断控制模块,包括模块本体,设于所述模块本体三个侧面上的第一端口、第二端口和第三端口,所述模块本体内设有连通所述第一端口的第一流道、连通所述第二端口的第二流道和连通所述第三端口的第三流道,所述模块本体的底面设有阀孔,所述第一流道、所述第二流道和所述第三流道均连通所述阀孔,所述阀孔内连接有第一隔膜阀的一端,所述第一隔膜阀的另一端连接用气设备,所述模块本体内设有加热组件。本申请将三路气体集中到一个模块上,并通过所述第一隔膜阀控制三路气体混合的通断,从而减少了管路和阀门的使用量,节约了设备成本和占地空间。
本实用新型一种多通道超纯气体通断控制模块在权利要求书中公布了:1.一种多通道超纯气体通断控制模块,其特征在于:包括模块本体,设于所述模块本体三个侧面上的第一端口、第二端口和第三端口,所述模块本体内设有连通所述第一端口的第一流道、连通所述第二端口的第二流道和连通所述第三端口的第三流道,所述模块本体的底面设有阀孔,所述第一流道、所述第二流道和所述第三流道均连通所述阀孔,所述阀孔内连接有第一隔膜阀的一端,所述第一隔膜阀的另一端连接用气设备,所述模块本体内设有加热组件。
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