江苏微导纳米科技股份有限公司王亨获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利载片装置及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223150648U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422025567.6,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型载片装置及镀膜设备是由王亨;李挺设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本载片装置及镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种载片装置,包括舟页,多片舟页彼此固定,且沿第一方向间隔布设,每一舟页上均设有多个用于承载基片的承载位,且每一舟页上的承载位均呈阵列排布;舟页横向设置,承载位在高度方向上具有至少两排。采用上述的载片装置,每一舟页上均设有多个用于承载基片的承载位,且每一舟页上的承载位均呈阵列排布;舟页横向设置,承载位在高度方向上具有至少两排,从而增加每一舟页的载片量。同时,由于每一舟页上的载片量增加,从而无需通过增加舟页的数量来增加载片量,也就无需增加载片装置的宽度,能够有效地确保载片装置的机械强度,保证镀膜均匀性。本申请还涉及一种镀膜设备。
本实用新型载片装置及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种载片装置,包括舟页(110),多片所述舟页(110)彼此固定,且沿第一方向间隔布设,其特征在于: 每一所述舟页(110)上均设有多个用于承载基片(20)的承载位(111),且每一所述舟页(110)上的所述承载位(111)均呈阵列排布;所述舟页(110)横向设置,所述承载位(111)在高度方向上具有至少两排; 所述载片装置还包括第三紧固件(120),所述第三紧固件(120)沿所述第一方向穿设连接于多片所述舟页(110)之间,以将多片所述舟页(110)固定,所述第三紧固件(120)在高度方向上具有至少两排; 所述第三紧固件(120)设置于所述舟页(110)的中部位置。
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