芯恩(青岛)集成电路有限公司关聪获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶圆传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155985U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422027059.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆传输装置是由关聪设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传输装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆传输装置，包括支撑轴、连接件、控温机械手及控温隔热板，其中，连接件与支撑轴相连接；控温机械手与连接件相连接，用以承载及转移晶圆，且机械手内设置有第一控温管路；控温隔热板与连接件相连接，控温隔热板位于机械手的上下两侧，且控温隔热板内设置有第二控温管路。本实用新型的晶圆传输装置，可及时有效的对晶圆进行降温处理，提高机台的WPH以及产品的良品率。
本实用新型晶圆传输装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置，其特征在于，所述晶圆传输装置包括： 支撑轴； 连接件，所述连接件与所述支撑轴相连接； 控温机械手，所述控温机械手与所述连接件相连接，用以承载及转移晶圆，且所述控温机械手内设置有第一控温管路； 控温隔热板，所述控温隔热板与所述连接件相连接，所述控温隔热板位于所述控温机械手的上下两侧，且所述控温隔热板内设置有第二控温管路。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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