珠海基石科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海基石科技有限公司申请的专利图案化材料、图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118652372B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411123243.4,技术领域涉及:C08F220/18;该发明授权图案化材料、图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案化材料、图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种图案化材料、图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法。该图案化材料的制备方法,包括:将第一单体、第二单体、含碘引发剂和有机碘化物催化剂混合,经聚合反应形成含碘聚合物;所述含碘聚合物进行脱碘处理,得到图案化材料,所述图案化材料包括式(I)所示的第一重复单元和式(II)所示的第二重复单元,其中R1选自极性基团,R2选自酸致分解基团,式(I),式(II)。该图案化材料的制备中采用了含碘引发剂和有机碘化物催化剂,并且进行了脱碘处理,避免了杂质元素对制得的图案化材料性能的影响,有利于半导体器件的制备和使用。
本发明授权图案化材料、图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种图案化组合物,其特征在于,包括图案化材料、光致产酸剂和第二溶剂,所述图案化材料包括式(I)所示的第一重复单元和式(II)所示的第二重复单元,其中R1选自极性基团,R2选自酸致分解基团,所述图案化材料的聚合物分散性指数小于1.4; 式(I), 式(II); 所述极性基团选自式(V)所示的基团,其中为连接位点,n1选自1至4中的整数,R1选自H、取代或未取代的烷基或者取代或未取代的烷氧基,R2选自O, 式(V), 所述酸致分解基团选自式(VII)所示的基团,其中为连接位点,n5选自1至4中的整数,n6选自2至4中的整数,R5选自取代或未取代的烷基,R6选自H或者取代或未取代的烷基, 式(VII); 所述图案化材料的制备方法包括: 将第一单体、第二单体、含碘引发剂和有机碘化物催化剂混合形成聚合反应液,经聚合反应形成含碘聚合物;所述聚合反应中,所述第一单体和所述第二单体的摩尔比为(3:7)-(7:3); 所述含碘聚合物进行脱碘处理,得到图案化材料, 所述含碘引发剂的化学结构式如式(III)所示, 式(III); 所述有机碘化物催化剂的化学结构式如式(IV)所示,其中R6、R7、R8和R9独立地选自取代或非取代的烷基或者取代或非取代的环烷基, 式(IV)。
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