清华大学于荣获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利降低数据采样率的叠层成像方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119198817B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411120231.6,技术领域涉及:G01N23/2055;该发明授权降低数据采样率的叠层成像方法及装置是由于荣;杨文峰设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本降低数据采样率的叠层成像方法及装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种降低数据采样率的叠层成像方法及装置,其中,方法包括:利用粒子束扫描样品,以采集满足预设采样率条件的衍射数据;使用满足第一预设条件的倒空间矩阵和满足第二预设条件的倒空间像素尺寸,初始化样品势函数和束斑函数;将算法得到的衍射数据的像素进行合并,再与实验衍射数据计算损失函数;如果损失函数未收敛至目标值,则对初始化后的样品势函数和束斑函数进行优化,得到优化后的样品势函数和束斑函数。重复上述操作,通过计算迭代过程以得到高质量叠层成像结果。由此,解决了叠层成像方法相对其他成像方法显著更长的数据采集时间的问题。
本发明授权降低数据采样率的叠层成像方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种降低数据采样率的叠层成像方法,其特征在于,包括以下步骤: 利用粒子束扫描样品,以采集满足预设采样率条件的衍射数据; 在叠层成像算法重构过程中,使用满足第一预设条件的倒空间矩阵和满足第二预设条件的倒空间像素尺寸,初始化样品势函数和束斑函数,得到初始化后的样品势函数和束斑函数; 将算法得到的衍射数据的像素进行合并,匹配满足预设条件的目标矩阵大小,根据所述目标矩阵大小和实验衍射数据计算损失函数,并判断所述损失函数是否收敛至目标值,其中,所述将算法得到的衍射数据的像素进行合并,匹配满足预设条件的目标矩阵大小,包括: 获取所述样品的扫描位置,并根据所述扫描位置得到所述衍射数据; 对所述衍射数据的像素进行合并,得到与所述实验衍射数据相等大小的矩阵; 所述损失函数的计算公式为: 其中,B·代表将矩阵的像素合并,得到与实验衍射数据相等大小的矩阵,j代表扫描位置的序号,u,v均代表实验衍射强度矩阵坐标,|·|代表分别计算矩阵中每个元素的模,代表计算矩阵的二维傅里叶变换,ψj为待优化的出射波函数,Ij为实验采集到的衍射强度矩阵; 如果所述损失函数未收敛至所述目标值,则对所述初始化后的样品势函数和束斑函数进行优化,直至达到预设收敛停止条件,得到优化后的样品势函数和束斑函数,以根据所述优化后的样品势函数和束斑函数得到叠层成像结果。
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