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深圳市曼恩光电科技有限公司张晓婵获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市曼恩光电科技有限公司申请的专利阳极层离子源获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223150633U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421984671.1,技术领域涉及:C23C14/32;该实用新型阳极层离子源是由张晓婵;黄金伟;张建国;杨炬灿;江涛;边明前;彭建林设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

阳极层离子源在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种阳极层离子源,包括基座以及阳极,所述基座的顶面向内凹陷形成有第一容纳腔,所述阳极装设于所述第一容纳腔内,所述基座上开设有导气通道,所述导气通道的两端分别贯通所述基座的顶面和底面,所述导气通道环绕所述第一容纳腔设置,并位于所述第一容纳腔的外侧。由于导气通道环绕设于第一容纳腔的外侧,而阳极装设于第一容纳腔内,相比现有技术中从阳极的底部通入工作气体而言,可大大减少工作气体与阳极的接触面积,进而会大大减少工作气体对阳极造成的污染。

本实用新型阳极层离子源在权利要求书中公布了:1.一种阳极层离子源,其特征在于,包括基座1以及阳极4,所述基座1的顶面向内凹陷形成有第一容纳腔11,所述阳极4装设于所述第一容纳腔11内,所述基座1上开设有导气通道13,所述导气通道13的两端分别贯通所述基座1的顶面和底面,所述导气通道13环绕所述第一容纳腔11设置,并位于所述第一容纳腔11的外侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市曼恩光电科技有限公司,其通讯地址为:518118 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金兰路3号6栋科彩产业园101;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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