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龙图腾网获悉江苏芯福微电子有限公司申请的专利一种槽式机晶圆传送机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223156001U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421912942.2，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种槽式机晶圆传送机构是由陈建福;吕祥飞;苏小林;鲍丽荣;姚佳奇设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种槽式机晶圆传送机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种槽式机晶圆传送机构，具体涉及晶圆传送技术领域，包括安装板、移动条和电动伸缩杆，所述安装板的一侧边呈水平固定连接有移动条，安装板顶端中心两侧均呈竖直固定连接有升降板，移动条靠近升降板的一侧设置有电动伸缩杆，升降板远离电动伸缩杆的一侧设置有水平板，水平板的侧壁滑动连接有移动块，移动块的底部设置有放置架；用于进行移动的移动条内部贯穿设置有转动丝杆，且转动丝杆的外壁通过螺纹连接有调节滑块，调节滑块与移动条的内部相互滑动，且调节滑块与电动伸缩杆的外壁相互固定。本实用新型具有方便进行晶圆输送、便于调节晶圆清洗位置、避免插入到清洗槽中进行夹持，避免了化学污染的优点。

本实用新型一种槽式机晶圆传送机构在权利要求书中公布了：1.一种槽式机晶圆传送机构，包括安装板1、移动条2和电动伸缩杆3，其特征在于：所述安装板1的一侧边呈水平固定连接有移动条2，安装板1顶端中心两侧均呈竖直固定连接有升降板4，移动条2靠近升降板4的一侧设置有电动伸缩杆3，升降板4远离电动伸缩杆3的一侧设置有水平板5，水平板5的侧壁滑动连接有移动块6，移动块6的底部设置有放置架7； 用于进行移动的移动条2内部贯穿设置有转动丝杆201，且转动丝杆201的外壁通过螺纹连接有调节滑块202，调节滑块202与移动条2的内部相互滑动，且调节滑块202与电动伸缩杆3的外壁相互固定； 用于进行升降的水平板5靠近升降板4内部的一侧均固定连接有升降块502，升降块502与升降板4相互滑动，升降板4的内部贯穿设置有升降丝杆401，升降块502内部中心与升降丝杆401相互螺纹连接； 用于进行放置晶圆的放置架7底部卡接有承托板701，移动块6的内部贯穿设置有转动杆601，转动杆601的底端外壁贯穿承托板701的内部与其转动连接。

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