武汉帝尔激光科技股份有限公司陈杰获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉帝尔激光科技股份有限公司申请的专利一种可变掩膜装置和激光巨量转移机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223155374U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421785016.3,技术领域涉及:G03F1/00;该实用新型一种可变掩膜装置和激光巨量转移机构是由陈杰;蒋一鸣;杨震;丁亮;朱凡设计研发完成,并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可变掩膜装置和激光巨量转移机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种可变掩膜装置和激光巨量转移机构,属于激光加工、光学掩膜技术领域,包括掩膜版、挡光片和驱动模组;其通过设置掩膜版外,还设置用于阻挡激光通过的挡光片,并将挡光片与驱动模组连接,以在需要改变掩膜版的透光面积和形状时,通过移动挡光片对掩膜版的部分区域进行遮挡,调整掩膜版的通光区域,由此解决固定掩膜版不能有效利用晶圆的问题,本实用新型无需更换不同大小的掩膜,提高工作效率。且可变掩膜装置的适用性强,可用于多种不同类型图案的晶圆。
本实用新型一种可变掩膜装置和激光巨量转移机构在权利要求书中公布了:1.一种可变掩膜装置,其特征在于,包括掩膜版、设置于所述掩膜版之前或者之后的多个挡光片、与所述挡光片连接的驱动模组,多个所述挡光片分开设置,所述挡光片用于阻止激光通过; 其中,所述掩膜版包括呈阵列分布的多个分开设置的激光透过区,所述掩膜版上激光透过区以外的区域为非激光透过区; 所述驱动模组用于驱动多个所述挡光片至少在水平面移动,以对所述掩膜版的部分区域进行遮挡。
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