吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司林海飞获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155983U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421775320.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型清洗装置是由林海飞;孙永胜;李松松;祁志明;李程;陆殷杰设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种清洗装置，包括清洗槽、承载机构及多个排废机构。承载机构与旋转驱动件的转动端可拆卸地连接，每个排废机构均包括排废管道及控制开关。不同的承载机构能够承载不同尺寸的待清洗工件，如晶圆，故通过更换承载机构便能够实现对不同尺寸的晶圆进行清洗。多个排废机构相互独立，且每个排废机构能够对一种类型的清洗废液进行排废。根据所采用清洗液的不同，通过控制开关开启对应的排废管道并将其余排废管道关闭，即可实现对不同类型的清洗废液的分类回收。可见，上述清洗装置既适用于对不同尺寸的晶圆进行清洗，也适用于对采用不同类型镀液进行电镀的晶圆进行清洗，故上述清洗装置的适用范围较广。
本实用新型清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，其特征在于，包括： 清洗槽，所述清洗槽的内部形成有一侧开口的清洗腔，所述清洗腔的底部设置有旋转驱动件，所述清洗槽上设置有与所述清洗腔连通的排水口； 承载机构，用于承载待清洗工件，且所述承载机构与所述旋转驱动件的转动端可拆卸地连接；及 多个排废机构，每个所述排废机构均包括排废管道及控制开关，多个所述排废机构的所述排废管道均与所述排水口连通，且每个所述控制开关均能够控制对应的所述排废管道开启或关闭。
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