广州增芯科技有限公司尤永涛获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利一种炉管设备的晶舟获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155998U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421753392.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种炉管设备的晶舟是由尤永涛设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种炉管设备的晶舟在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种炉管设备的晶舟，属于晶舟生产技术领域，解决晶圆与晶圆支撑销之间摩擦产生的较大颗粒掉落在下一片晶圆的技术问题。该晶舟包括支撑架和位于支撑架内的若干层支撑组件，每层所述的支撑组件均由若干个晶圆支撑销构成，所述晶圆支撑销的一端设有支撑部，所述支撑部的外周设有用于挡住颗粒的挡板，所述挡板的高度小于所述支撑部的高度，且所述挡板的顶部为向支撑部一侧倾斜向下延伸的倾斜面。本实用新型的晶舟，能够挡住较大颗粒，防止较大颗粒随着气流飘散到其他地方，有效保证下一片晶圆的良率。
本实用新型一种炉管设备的晶舟在权利要求书中公布了：1.一种炉管设备的晶舟，包括支撑架和位于支撑架内的若干层支撑组件，每层所述的支撑组件均由若干个晶圆支撑销21构成，其特征在于，所述晶圆支撑销21的一端设有支撑部22，所述支撑部22顶部为平面结构，采用所述平面与晶圆接触，所述支撑部22的外周设有用于挡住颗粒的挡板23，所述挡板23的高度小于所述支撑部22的高度，且所述挡板23的顶部为向支撑部22一侧倾斜向下延伸的倾斜面25。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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