晟盈半导体设备(江苏)有限公司陈森武获国家专利权
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龙图腾网获悉晟盈半导体设备(江苏)有限公司申请的专利用于晶圆浸入电解液的控制装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223150675U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421711060.X，技术领域涉及：C25D17/00；该实用新型用于晶圆浸入电解液的控制装置是由陈森武设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆浸入电解液的控制装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了用于晶圆浸入电解液的控制装置，晶圆水平装载在电镀模组的底面，控制装置包括连接模块、转动连接在连接模块上的摆动模块、具有伸缩端部的驱动部件，其中电镀模组与摆动模块相连接设置；摆动模块上形成有与伸缩端部相匹配的活动槽，伸缩端部插设在活动槽内，且伸缩端部的伸缩方向与活动槽的延伸方向相交设置，伸缩时，伸缩端部同步沿着活动槽运动，摆动模块带动电镀模组同步左右摆动，晶圆在水平状态和倾斜状态之间切换。本实用新型通过连接模块、摆动模块以及驱动部件的配合，使得晶圆以倾斜状态浸入电解液中，使得气泡能够同步沿着晶圆表面向上逐渐排出，从而保证晶圆在电镀中表面实现零气泡，有效提升电镀质量。
本实用新型用于晶圆浸入电解液的控制装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆浸入电解液的控制装置，晶圆水平装载在电镀模组的底面，其特征在于：所述控制装置包括连接模块、转动连接在所述连接模块上的摆动模块、具有伸缩端部的驱动部件，其中所述电镀模组与摆动模块相连接设置；所述摆动模块上形成有与所述伸缩端部相匹配的活动槽，所述伸缩端部插设在所述活动槽内，且所述伸缩端部的伸缩方向与所述活动槽的延伸方向相交设置，伸缩时，所述伸缩端部同步沿着所述活动槽运动，所述摆动模块带动电镀模组同步左右摆动，所述晶圆在水平状态和倾斜状态之间切换。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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