深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司杨宝立获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利退火装置及硅片生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223157536U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421715104.6，技术领域涉及：H10F71/00；该实用新型退火装置及硅片生产设备是由杨宝立;彭倩;李学文;邓金生;张数俊设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本退火装置及硅片生产设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种退火装置及硅片生产设备。本实用新型的退火装置包括炉体及输送机构，炉体限定有处理腔，处理腔包括预热区、工艺区和冷却区；输送机构包括多个第一辊轴，多个第一辊轴沿输送方向并列设置于处理腔中，并且各第一辊轴的两端分别与处理腔的两侧的腔壁转动连接；其中，第一辊轴用于承载硅片载具，第一辊轴能够与硅片载具的底面抵接，第一辊轴受驱转动并带动硅片载具移动，以使硅片载具依次经过预热区、工艺区和冷却区。本申请中，相邻两组硅片载具从工艺区移出的时间间隔为退火的工艺时间，同时也是硅片的工艺周期，相较于真空退火装置的工艺周期，本申请的退火装置的工艺周期大大缩短，从而产能得到显著提高。
本实用新型退火装置及硅片生产设备在权利要求书中公布了：1.退火装置，其特征在于，包括： 炉体，所述炉体限定有处理腔，所述炉体包括预热区、工艺区和冷却区； 输送机构，所述输送机构包括多个第一辊轴，多个所述第一辊轴沿输送方向并列设置于所述处理腔中，并且各所述第一辊轴的两端分别与所述处理腔的两侧的腔壁转动连接； 其中，所述第一辊轴用于承载硅片载具，所述第一辊轴能够与所述硅片载具的底面抵接，所述第一辊轴受驱转动并带动所述硅片载具移动，以使所述硅片载具依次经过所述预热区、所述工艺区和所述冷却区。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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