苏州科拓伟智能设备有限公司周玲获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州科拓伟智能设备有限公司申请的专利晶圆分拣设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223155982U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421681118.0,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型晶圆分拣设备是由周玲;姚春东设计研发完成,并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆分拣设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆分拣设备,包括搬运机构、检测识别机构、中转机构和用于存放晶圆的存放结构,所述搬运机构、所述检测识别机构、中转机构和所述存放结构皆安装于分拣台;所述检测识别机构包括相机驱动相机左右移动的左右驱动机构和驱动相机前后移动的前后调节机构;所述存放结构包括两层治具盒,每层治具盒皆包括若干个料盒和载座,所述料盒的内壁设有与所述晶圆相匹配的插槽,所述料盒安装于所述载座,所述载座安装于所述分拣台。本实用新型通过搬运机构将晶圆放至中转机构后,利用检测识别机构对晶圆进行检测识别,提高了分拣的自动化程度。
本实用新型晶圆分拣设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆分拣设备,其特征在于:包括搬运机构1、检测识别机构2、中转机构3和用于存放晶圆4的存放结构5,所述搬运机构、所述检测识别机构、中转机构和所述存放结构皆安装于分拣台6; 所述检测识别机构包括相机21、驱动相机左右移动的左右驱动机构和驱动相机前后移动的前后调节机构; 所述相机的下方设有所述中转机构,所述中转机构包括转盘31和驱动转盘转动的转动驱动电机,所述晶圆放于所述转盘,所述转盘与所述转动驱动电机的输出轴连接,所述转动驱动电机固定于中转盒33,所述中转盒固定于所述分拣台,所述中转盒安装有对晶圆的缺口41进行检测的传感器34; 所述存放结构包括两层治具盒,每层治具盒皆包括若干个料盒和载座52,所述料盒的内壁设有与所述晶圆相匹配的插槽53,所述料盒安装于所述载座,所述载座安装于所述分拣台。
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