武汉中导光电设备有限公司王建存获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉中导光电设备有限公司申请的专利一种自动光学检测设备的检测介质获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155978U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421666905.8，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种自动光学检测设备的检测介质是由王建存;李波设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动光学检测设备的检测介质在说明书摘要公布了：本申请涉及一种自动光学检测设备的检测介质，其包括介质本体，以及沿所述介质本体厚度方向上下设置的若干层图案层，所述图案层设置有呈阵列分布的图案单元；每一层所述图案层的图案单元均设置有至少一种标准图案，所述标准图案包括阵列图案、分辨率图案、随机图案、线宽图案和套刻图案中的一种；所有的所述图案层作为整体，设置有至少两种标准图案。本申请提出的检测介质充分考虑了自动光学晶圆检测设备的使用场景，基本可以在一片标准介质上完成光学和检测相关的绝大部分功能，提高了验证准确性，减少了制作成本，简化了验证流程，解决了相关技术中标准片因其功能单一、或图案纹理特征限制，常常很难保证能够验证各种特征的缺陷类型检出能力。
本实用新型一种自动光学检测设备的检测介质在权利要求书中公布了：1.一种自动光学检测设备的检测介质，其特征在于：其包括介质本体1，以及沿所述介质本体1厚度方向上下设置的若干层图案层2，所述图案层2设置有呈阵列分布的图案单元3； 每一层所述图案层2的图案单元3均设置有至少一种标准图案，所述标准图案包括阵列图案31、分辨率图案32、随机图案33、线宽图案34和套刻图案35中的一种； 所有的所述图案层2作为整体，设置有至少两种标准图案。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉中导光电设备有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市武汉经济技术开发区高科技产业园16号楼4楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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