上海车仪田科技有限公司张黎明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种基于超声飞行时间的高精度气体浓度监测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223154925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421304995.6，技术领域涉及：G01N29/024；该实用新型一种基于超声飞行时间的高精度气体浓度监测装置是由张黎明;张南南;郝美琪;王宇飞;赵静辉设计研发完成，并于2024-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于超声飞行时间的高精度气体浓度监测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于超声飞行时间的高精度气体浓度监测装置，水平或竖直安装在机台气柜中MFC旁侧对气体浓度进行实时监测。装置结构包括传感器和控制器，其中传感器包括：气体管道、气体腔室、超声腔室、密封环和温度控制组件。通过超声换能器在顺流和逆流方向相继发出超声波并由控制器处理并计算飞行时间信号，再转化为气体的实时浓度输出，在GUI界面显示工艺气体浓度VOL％‑‑时间s曲线图。本实用新型的有益效果是通过高频超声换能器的工作实现了高检测精度、宽量程的气体浓度监测，适用于多种半导体工艺应用。
本实用新型一种基于超声飞行时间的高精度气体浓度监测装置在权利要求书中公布了：1.一种基于超声飞行时间的高精度气体浓度监测装置，水平或竖直安装在机台气柜中MFC旁侧对气体浓度进行实时监测，其特征在于，包括： 传感器： 气体管道，所述气体管道包括进气管道和出气管道； 气体腔室，所述气体腔室包括进气腔室和出气腔室，所述进气腔室和所述出气腔室为侧壁带有小孔的空心环状结构； 超声腔室，所述超声腔室包括两个超声换能器及其与气体腔室的所围空间，所述超声换能器分别置于气体腔室两侧； 密封环，所述密封环包括两个密封环，用于对气体腔室和超声腔室的密封； 温度控制组件，所述温度控制组件包括温控器和加热套； 控制器， 其中，所述传感器与所述控制器通过两根数据线连接，所述控制器用于控制所述传感器的工作。
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