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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利半导体加热装置的控制方法和控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118726951B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410722369.7，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权半导体加热装置的控制方法和控制系统是由左志耀;马法君;金隽设计研发完成，并于2024-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体加热装置的控制方法和控制系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体加热装置的控制方法和执行该控制方法的控制系统。对于第i个加热区和与其相邻的j个加热区，本发明的控制方法通过步骤Sm对各加热区以各自的最佳调温功率进行调温，并得到各加热区对应的受热区各自的预测温度相关参数，以及各加热区各自的系统延迟修正值。然后通过步骤Sm+n根据目标温度相关参数，步骤Sm得到的各加热区对应的受热区的预测温度相关参数以及各加热区各自的系统延迟修正值进行预测计算，使得下一步骤对最佳升温功率的预测均基于上一步骤所预测得到的预测温度相关参数且引入了各加热区的系统延迟修正值，显著缩短了温度控制的平衡时间，避免了因系统响应延迟造成的温度稳定时间长且不稳定的问题。

本发明授权半导体加热装置的控制方法和控制系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体加热装置的控制方法，其特征在于，提供包括半导体加热装置及被加热装置的半导体设备，所述半导体加热装置包括至少三个加热区以用于发热，其中第i个加热区与其余的j个加热区相邻，j为大于等于2的正整数，第i个加热区向所述被加热装置对应的第i个受热区传热，所述j个加热区分别向所述被加热装置对应的j个受热区一一对应传热； 加热控制方法包括对所述第i个加热区进行的加热控制方法，包括以下步骤： S0：获取目标温度Tset以及与所述目标温度Tset对应的目标功率Pset，控制所述半导体加热装置使所述第i个加热区和所述j个加热区升温； Sm：对第m调温过程进行第m预测计算：根据所述目标温度Tset以及所述目标功率Pset，以及获取到的所述第i个受热区的当前温度Ti0和对应的当前功率Pi0，和所述j个受热区中每一个受热区各自的当前温度Tj0和对应的当前功率Pj0，得到所述第i个加热区和所述j个加热区中每一个加热区各自的第m最佳调温功率；根据所述第i个受热区的当前温度Ti0和对应的当前功率Pi0，以及所述j个受热区中每个受热区的当前温度Tj0进行计算，得到所述第i个受热区的第m预测温度Tim和对应的第m预测功率Pim；根据所述j个受热区中每个受热区的当前温度Tj0和对应的当前功率Pj0，以及所述第i个受热区的当前温度Ti0进行计算，得到所述j个受热区中每一个受热区的第m预测温度Tjm和对应的第m预测功率Pjm； 控制所述半导体加热装置使所述第i个加热区和所述j个加热区中每一个加热区分别以各自的第m最佳调温功率进行所述第m调温过程； 获取并根据与所述第i个加热区和所述j个加热区中每一个加热区各自的第m最佳调温功率所对应的功率控制指令的发出时间、以及所述第i个受热区和所述j个受热区中每一个受热区各自的实时温度与时间对应关系进行修正计算，得到所述第i个加热区和所述j个加热区中每一个加热区各自的系统延迟修正值； Sm+n：对第（m+n）调温过程进行第（m+n）预测计算：根据所述目标温度Tset以及所述目标功率Pset，所述步骤Sm中的所述第i个受热区的第m预测温度Tim和对应的第m预测功率Pim，和所述j个受热区中每一个受热区各自的第m预测温度Tjm和对应的第m预测功率Pjm，以及所述第i个加热区和所述j个加热区中每一个加热区各自的系统延迟修正值，得到所述第i个加热区和所述j个加热区中每一个加热区各自的第（m+n）最佳调温功率；根据所述第i个受热区的预测温度Tim和对应的预测功率Pim，所述j个受热区中每一个受热区的预测温度Tjm以及所述第i个加热区的系统延迟修正值Dsi进行计算，得到所述第i个受热区的预测温度Tim+n和对应的预测功率Pim+n；根据所述j个受热区中每一个受热区的预测温度Tjm和对应的预测功率Pjm，所述第i个受热区的预测温度Tim以及所述j个加热区中每一个受热区的系统延迟修正值Dsj进行计算，得到所述j个受热区中每一个受热区的预测温度Tjm+n和对应的预测功率Pjm+n； 控制所述半导体加热装置使所述第i个加热区和所述j个加热区分别以各自的第（m+n）最佳调温功率进行所述第（m+n）调温过程； 重复执行所述步骤S（m+n）直至所述第i个受热区和所述j个受热区各自达到所述目标温度，n为大于等于1的正整数且顺序取值。

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