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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化铟锌蒸镀靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117049870B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311012661.1，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种氧化铟锌蒸镀靶材及其制备方法是由顾德盛;邵学亮;李开杰;罗斯诗;张兴宇设计研发完成，并于2023-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氧化铟锌蒸镀靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及靶材生产技术领域，公开了一种氧化铟锌蒸镀靶材的制备方法，该方法先将分散剂、粘结剂、氧化锌粉末、氧化铟粉末加入纯水中混合，得到混合浆料；再将混合浆料喷雾制粒，得到IZO粉末；随后将IZO粉末铺入石墨舟、一次烧结、过筛，得到一次烧结后的IZO粉末；最后向一次烧结后的IZO粉末添加去离子水润湿、模压、二次烧结，得到氧化铟锌蒸镀靶材；通过上述方法制得的氧化铟锌蒸镀靶材，不仅拥有较高的相对密度和电导率，并且可以直接用于蒸镀使用，此外，本申请还公开了一种氧化铟锌蒸镀靶材。

本发明授权一种氧化铟锌蒸镀靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化铟锌蒸镀靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 其中步骤1包括以下子步骤： 步骤A1：将第一分散剂分散至水中，随后将氧化锌粉末加入含有第一分散剂的水中，并在300rpm的转速下分散20～40min，随后研磨，得到浆料一； 步骤A2：将第二分散剂分散至水中，将浆料一加入含有第二分散剂的水中，并在300rpm的转速下分散20～40min、加入氧化铟粉末，随后研磨，得到浆料二； 步骤A3：向浆料二中加入粘结剂，并在1200～1400rpm的转速下研磨5小时，得到混合浆料； 步骤2：将混合浆料喷雾造粒，得到IZO粉末； 步骤3：将IZO粉末铺入石墨舟、一次烧结、过筛，得到一次烧结后的IZO粉末； 步骤4：向一次烧结后的IZO粉末添加去离子水润湿、模压、二次烧结，得到氧化铟锌蒸镀靶材，且去离子水的添加量为IZO粉末质量的3～7%； 第一分散剂为聚乙烯吡咯烷酮、十二烷基苯磺酸钠的混合物，且聚乙烯吡咯烷酮、十二烷基苯磺酸钠的质量比为1：1； 第二分散剂为十六烷基苯磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠的混合物，且十六烷基苯磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠的质量比为1：1； 所述氧化锌粉末、氧化铟粉末的质量比为2～3：97～98； 其中第一分散剂的添加量为氧化锌粉末质量的5～7%； 第二分散剂的添加量为氧化锌粉末、氧化铟粉末总质量的5～7%。

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