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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种CO₂激光快速烧蚀加工熔石英微透镜阵列的初始微结构的路径规划方法及路径获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116936003B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310937655.0，技术领域涉及：G16C60/00；该发明授权一种CO₂激光快速烧蚀加工熔石英微透镜阵列的初始微结构的路径规划方法及路径是由程健;张紫晓;陈继祥;陈明君;赵林杰;贺欣欣;杨子灿;张天浩设计研发完成，并于2023-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种CO₂激光快速烧蚀加工熔石英微透镜阵列的初始微结构的路径规划方法及路径在说明书摘要公布了：本发明提供一种CO2激光快速烧蚀加工熔石英微透镜阵列的初始微结构的路径规划方法及路径，属于光学加工技术领域。为解决CO2激光烧蚀快速去除材料加工微柱阵列时，加工表面存在烧蚀过度或不足以致粗糙不平，严重影响微透镜阵列质量问题。利用阵列点和阵列线两种加工方式进行加工实验，优选多线扫描，规划路径为交叉轨迹和非交叉S形轨迹，优选非交叉S形轨迹，虽然其效果较好但仍存在加工表面不平整问题，再次优化为非交叉点扫描起点同侧轨迹，扫描相邻两条横纵轨迹的时间间隔相同。本发明揭示了沿不同轨迹进行扫描对加工表面形貌的影响；解决初始微结构存在表面烧蚀过度或不足以致粗糙不平问题，为获得高质量熔石英微透镜阵列奠定基础。

本发明授权一种CO₂激光快速烧蚀加工熔石英微透镜阵列的初始微结构的路径规划方法及路径在权利要求书中公布了：1.一种CO2激光快速烧蚀加工熔石英微透镜阵列的初始微结构的路径规划方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一、利用两种不同加工方式分别进行加工实验，优选出加工效果较好的加工方式，两种加工方式包括阵列点加工和阵列线加工； 优选出加工纹理不随加工深度的增加而明显的加工方式为单线扫描或多线扫描，可根据微柱间宽度和扫描间距选择单线扫描或多线扫描，当扫描间距窄且一次扫描就能加工出满足尺寸和形貌要求的目标微柱间宽度时，可选择单线扫描；当扫描间距宽且一次扫描不能加工出满足尺寸和形貌要求的目标微柱间宽度时，可选择多线扫描； 步骤二、以熔石英表面微柱间的加工表面高度一致为标准进行路径规划，对步骤一中选出的加工效果较好的加工方式通过有限元仿真方法得到CO2激光按照规划方案扫描的加工效果，分析相应加工表面质量，并优化获取最终路径方案； 扫描轨迹初步划分为交叉轨迹和非交叉S形轨迹； 所述非交叉S形轨迹的横纵向轨迹之间没有交叉，横纵向轨迹的扫描起点均在材料表面同侧，扫描横向轨迹时，扫完同一行之后再扫描距其设定的扫描间距的下一行横向轨迹，纵向扫描时与横向扫描同理。

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