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苏州艾斯达克智能科技有限公司沙伟中获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州艾斯达克智能科技有限公司申请的专利半导体智能仓储存取光罩盒的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116923949B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310686824.8,技术领域涉及:B65G1/137;该发明授权半导体智能仓储存取光罩盒的方法是由沙伟中设计研发完成,并于2023-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体智能仓储存取光罩盒的方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种半导体智能仓储存取光罩盒的方法,所述的智能仓储包括:仓储体,用于存放存储半导体晶圆片的光罩盒;所述的仓储体的一侧设置有光罩盒移送循环装置用于对光罩盒进行循环移送;所述的仓储体内的一端设置有光罩盒横向中转机构;所述仓储体内设置有光罩盒取料装置将移送至光罩盒横向中转机构上的光罩盒送入仓储体内,所述光罩盒取料装置将光罩盒送入仓储体的存储光罩盒的光罩盒支架上。通过本智能仓储能够实现对光罩盒在仓储体外的循环存储功能,避免人工对光罩盒的反复搬运,通过取料机构在垂直方向的调节和吸取,增加了对光罩盒取料装置的移动范围和精度。整体提升对光罩盒存取的效率。

本发明授权半导体智能仓储存取光罩盒的方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体智能仓储存取光罩盒的方法,其中, 所述的智能仓储包括: 仓储体,用于存放存储半导体晶圆片的光罩盒; 所述的仓储体的一侧设置有光罩盒移送循环装置用于对光罩盒进行循环移送; 所述的仓储体内的一端设置有光罩盒横向中转机构; 所述仓储体内设置有光罩盒取料装置将移送至光罩盒横向中转机构上的光罩盒送入仓储体内,所述光罩盒取料装置将光罩盒送入仓储体的存储光罩盒的光罩盒支架上,其特征在于, 所述光罩盒移送循环装置,包括机壳,机壳内设置有循环导轨;滚轮,若干个滚轮与所述循环导轨连接,所述滚轮能够沿着所述循环导轨循环运动;治具,若干个治具分别固定在所述滚轮上,所述治具上设置有光罩盒座,用于放置光罩盒;链条传动装置,包括驱动电机和链条,所述驱动电机与所述链条连接,所述链条与所述滚轮连接,用于驱动所述滚轮沿着所述循环导轨循环运动;定位装置,包括定位块和定位传感器,所述定位块设置在所述循环导轨的一侧;进料口和出料口,分别设置在所述机壳的一侧和另一侧,与所述循环导轨相连通,用于光罩盒的进出料;控制单元,与所述驱动电机、所述定位传感器、进料口和出料口连接,用于控制整个装置的运行; 所述仓储体上设置有仓门,所述仓门打开后,所述光罩盒取料装置的安装板二将从仓门处伸出后通过负压装置将光罩盒移送循环装置循环移送的光罩盒移送至仓门对应位置的光罩盒吸取后移送入仓储体内; 所述光罩盒取料装置包括导轨一,所述的导轨一上设置有行走支撑座,所述的行走支撑座上设置竖向支撑架,所述竖向支撑架上设置竖向导轨,还包括横向支撑板,所述横向支撑板两侧与竖向导轨连接,所述横向支撑板上设置有旋转机构一,所述旋转机构一上设置有安装板一,所述旋转机构一带动所述安装板一做旋转移动;所述安装板一上设置横向导轨一,所述横向导轨一上设置滑块,所述滑块上设置安装板二,所述安装板二上设置有负压装置用于吸取光罩盒; 所述光罩盒横向中转机构包括导轨三,所述导轨三上设置有中转座体,所述中转座体上设置有旋转机构二,所述旋转机构二上设置有安装板四,所述旋转机构二带动所述安装板四做旋转移动;所述安装板四上设置横向导轨三,所述横向导轨三上设置滑块,所述滑块上设置安装板五,所述安装板五上设置有负压装置用于吸取光罩盒; 在所述光罩盒横向中转机构与所述光罩盒取料装置之间设置有中转平台; 通过以下步骤实现将光罩盒存入仓储体内: 步骤一:所述光罩盒在所述的光罩盒移送循环装置内循环输送,当需要对循环装置内的光罩盒存入仓储体内时,所述智能仓储的控制单元将向所述的光罩盒移送循环装置发送信号,将某一个具体的光罩盒转移至光罩盒移送循环装置的出料口位置; 步骤二:所述仓储体的仓门打开所述的光罩盒横向中转机构的安装板五将伸入所述的出料口位置,通过负压装置将所属的光罩盒吸取后回复至所述的仓储体内,所述的旋转机构二旋转后将所述的光罩盒旋转一定角度后将所述的光罩盒放置于所述的中转平台上的光罩盒的治具上; 步骤三:所述的光罩盒取料装置的安装板二的负压装置将光罩盒由中转平台上的治具吸取后,所述行走支撑座沿着所述导轨一移动至指定位置后,所述横向支撑板沿着竖向导轨向上移动至存储光罩盒存储架的位置,所述旋转机构一旋转一定角度后,所述安装板二伸入所述的存储支架内并将所述光罩盒存入。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州艾斯达克智能科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市苏州高新区泰山路2号和枫产业园中试创业基地A栋101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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