买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利工件保持装置、对准装置以及成膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116949395B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310388835.8，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权工件保持装置、对准装置以及成膜装置是由铃木健太郎设计研发完成，并于2023-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本工件保持装置、对准装置以及成膜装置在说明书摘要公布了：本发明涉及工件保持装置、对准装置以及成膜装置。在支承工件的结构中，变形更少。工件保持装置具备：第一支承单元，所述第一支承单元对工件进行支承；以及第二支承单元，所述第二支承单元悬挂所述第一支承单元而进行支承，其中，所述第一支承单元具备：沿第一方向延伸设置的第一基座部件及第二基座部件；沿着所述第一方向设置于各基座部件，并支承所述工件的周缘部的多个第一支承部及第二支承部；以及将所述第一基座部件和第二基座部件连接的连接部件。所述连接部件在与在所述第一方向上位于端部的支承部相比靠近所述第二支承单元的支承轴的部位与所述基座部件连接。

本发明授权工件保持装置、对准装置以及成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种工件保持装置，所述工件保持装置具备： 第一支承单元，所述第一支承单元对工件进行支承；以及 第二支承单元，所述第二支承单元悬挂所述第一支承单元而进行支承， 所述工件保持装置的特征在于， 所述第一支承单元具备： 第一基座部件，所述第一基座部件沿第一方向延伸设置； 第二基座部件，所述第二基座部件沿所述第一方向延伸设置，并且在与所述第一方向交叉的第二方向上从所述第一基座部件分离； 多个第一支承部，所述多个第一支承部沿着所述第一方向设置于所述第一基座部件，对所述工件的周缘部进行支承； 多个第二支承部，所述多个第二支承部沿着所述第一方向设置于所述第二基座部件，对所述工件的周缘部进行支承；以及 连接部件，所述连接部件沿所述第二方向延伸设置，将所述第一基座部件和所述第二基座部件连接， 所述第二支承单元具备： 第一支承轴，所述第一支承轴悬挂所述第一基座部件；以及 第二支承轴，所述第二支承轴悬挂所述第二基座部件， 所述连接部件在与所述多个第一支承部中的在所述第一方向上位于端部的第一支承部相比靠近所述第一支承轴的部位与所述第一基座部件连接， 所述连接部件在与所述多个第二支承部中的在所述第一方向上位于端部的第二支承部相比靠近所述第二支承轴的部位与所述第二基座部件连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能特机株式会社，其通讯地址为：日本新泻县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。