哈尔滨工业大学刘俭获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116297486B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310253142.8，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置与方法是由刘俭;刘辰光;华子杰设计研发完成，并于2023-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置与方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括涡旋照明光产生模块、光束扫描照明模块和螺旋谱提取模块；通过液晶空间光调制器加载叉形光栅相位调制样品反射至探测路的光束，同时利用孔径光阑遮挡环形光探测光斑中心光强，提取对应涡旋阶数的螺旋谱分量强度。可提取亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析反射光螺旋谱可获取样品的相位等信息；能够准确地实现光学元件相位缺陷与振幅缺陷的识别及分类。
本发明授权基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置与方法在权利要求书中公布了：1.基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置，其特征在于：包括涡旋照明光产生模块、光束扫描照明模块和螺旋谱提取模块； 所述涡旋照明光产生模块，用于产生用于照明的低阶涡旋光束；涡旋照明光产生模块按照光线传播方向依次包括：激光器1、半波片2、偏振片一3、非偏振分束器一4和液晶空间光调制器一5； 所述光束扫描照明模块，用于将涡旋照明光产生模块产生的低阶涡旋光束传递到待测样品产生待测样品的信号光；光束扫描照明模块按照光线传播方向依次包括：孔径光阑一6、非偏振分束器二7、二维扫描振镜8、扫描透镜9、管镜10、物镜11和待测样品12； 所述螺旋谱提取模块用于接收待测样品的信号光，并利用液晶空间光调制器加载叉形光栅相位调制所述信号光，获取包含对应阶数涡旋分量的待测样品的螺旋谱；螺旋谱提取模块按照光线传播方向依次包括：偏振片二13、非偏振分束器三14、液晶空间光调制器二15、孔径光阑二16、聚焦透镜17、单模光纤18和PMT探测器19。
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