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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利一种晶圆抽检装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116417362B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310235549.8，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆抽检装置是由赵裕兴;王乾宝设计研发完成，并于2023-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆抽检装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆抽检装置，包括抽检吸附台、晶圆抽检上部支撑组件、抽检底座组件和抽检相机组件，抽检底座组件可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件沿着X轴方向移动，晶圆抽检上部支撑组件沿着Y轴负方向一侧的抽检底座组件上设置有抽检相机组件，晶圆抽检上部支撑组件上设置有抽检吸附台。本发明通过抽检底座组件可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件沿着X轴方向移动的结构，对需要进行人工识别的晶圆或问题晶圆，能够自动伸出或缩回抽检的晶圆平台。

本发明授权一种晶圆抽检装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆抽检装置，包括抽检吸附台4、晶圆抽检上部支撑组件5、抽检底座组件8和抽检相机组件10，其特征在于，所述抽检底座组件8驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件5沿着X轴方向移动，所述晶圆抽检上部支撑组件5沿着Y轴负方向一侧的抽检底座组件8上设置有抽检相机组件10，所述晶圆抽检上部支撑组件5上设置有抽检吸附台4； 所述晶圆抽检上部支撑组件5包括抽检台底板一508，所述抽检台底板一508上的中间位置设置有抽检吸附台4，所述抽检吸附台4下方的抽检台底板一508上设置有若干个固定弹簧组件502和调平弹簧组件509，所述固定弹簧组件502和调平弹簧组件509分别与上方的抽检吸附台4相接触设置； 所述抽检底座组件8包括抽检台底板二801，所述抽检台底板二801上沿着X轴正方向的一侧设置有气缸一806，所述气缸一806通过气缸固定板一807安装在抽检台底板二801上，所述气缸一806沿着X轴负方向一侧的驱动端通过活动板805与上方的抽检台底板一508相连接并驱动其沿着X轴方向移动； 所述抽检台底板一508下方沿着Y轴正方向的一侧设置有滑板组件一7，所述抽检台底板一508下方沿着Y轴负方向的一侧设置有滑板组件二9； 所述滑板组件一7包括抽检台左滑板703、滑轨组件一704和左侧滑轨固定板705，所述抽检台左滑板703沿着X轴方向安装在下方的抽检台底板二801上，所述左侧滑轨固定板705沿着X轴方向安装在上方的抽检台底板一508的底部，所述抽检台左滑板703通过滑轨组件一704与外侧的左侧滑轨固定板705相连接； 所述滑板组件二9包括抽检台右滑板903、滑轨组件二904和右侧滑轨固定板905，所述抽检台右滑板903沿着X轴方向安装在下方的抽检台底板二801上，所述右侧滑轨固定板905安装在上方的抽检台底板一508的底部，所述抽检台右滑板903通过滑轨组件二904与外侧的右侧滑轨固定板905相连接。

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