深圳飞骧科技股份有限公司胡锦钊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳飞骧科技股份有限公司申请的专利声表面波滤波器的制造方法及声表面波滤波器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115765663B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211700121.8,技术领域涉及:H03H3/08;该发明授权声表面波滤波器的制造方法及声表面波滤波器是由胡锦钊;郭嘉帅设计研发完成,并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本声表面波滤波器的制造方法及声表面波滤波器在说明书摘要公布了:本发明实施例提供了一种声表面波滤波器的制造方法及声表面波滤波器,制造方法包括以下步骤:S1、获取第一腔体和第二腔体,并在第一腔体上形成第一衬底,第二腔体上形成第二衬底;S2、在第一汇流条远离第一衬底的一侧生长一绝缘层,绝缘层位于第一衬底的周缘;S3、在绝缘层上形成与第一汇流条连通的通孔;S4、通过电镀工艺将通孔填满导电材料并将导电材料延伸覆盖绝缘层远离第一衬底的一侧,导电材料与第一汇流条电连接;S5、将第二谐振单元的第二汇流条叠设于导电材料,使得第一谐振单元与第二谐振单元键合,得到声表面波滤波器。本发明的声表面波滤波器的封装方便,整个器件面积小,耐压模性能良好。
本发明授权声表面波滤波器的制造方法及声表面波滤波器在权利要求书中公布了:1.一种声表面波滤波器的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括以下步骤: S1、获取第一谐振单元和第二谐振单元;所述第一谐振单元包括设有多个第一横向激励薄膜体声波谐振器的第一衬底、支撑固定于所述第一衬底的第一绝缘壁、支撑固定于所述第一绝缘壁并与所述第一衬底间隔围成第一腔体的第一汇流条以及形成于所述第一汇流条远离所述第一衬底一侧的第一电极,所述第一电极向所述第一腔体的正投影完全位于所述第一腔体内;所述第二谐振单元包括设有多个第二横向激励薄膜体声波谐振器的第二衬底、支撑固定于所述第二衬底的第二绝缘壁、支撑固定于所述第二绝缘壁并与所述第二衬底间隔围成第二腔体的第二汇流条以及形成于所述第二汇流条远离所述第二衬底一侧的第二电极,所述第二电极向所述第二腔体的正投影完全位于所述第二腔体内; S2、在所述第一汇流条远离所述第一衬底的一侧生长一绝缘层,所述绝缘层位于所述第一衬底的周缘; S3、在所述绝缘层上形成与所述第一汇流条连通的通孔; S4、通过电镀工艺将所述通孔填满导电材料并将所述导电材料延伸覆盖所述绝缘层远离所述第一衬底的一侧,所述导电材料与所述第一汇流条电连接; S5、将所述第二谐振单元的所述第二汇流条叠设于所述导电材料,使得所述第一谐振单元与所述第二谐振单元键合,得到所述声表面波滤波器。
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