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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种半导体欠驱动L型运动真空阀门获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116357760B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211684786.4，技术领域涉及：F16K3/18；该发明授权一种半导体欠驱动L型运动真空阀门是由辛洪旭;李加平;姜小蛟;谭晓东;杨建辉设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体欠驱动L型运动真空阀门在说明书摘要公布了：本发明属于半导体制造技术及真空阀门领域，具体涉及一种半导体欠驱动L型运动真空阀门。一种半导体欠驱动L型运动真空阀门，包括阀板，阀板座，真空螺钉，止推轴承，波纹管一体轴，气缸座，气缸，限位座，支点轴承，连杆座，支点连杆，连接轴，挡圈，衬套，短连杆，扭簧，气缸连接座，支撑板，封板，外壳；所述气缸上端通过螺钉与气缸座固接，气缸下端与气缸连接座连接；气缸连接座通过螺钉与连杆座连接。本发明实现阀板的竖直运动，降低制造成本，再通过平行四边形机构结合滑块压紧机构实现阀板的水平运动，保证阀板与门框密封面在完全贴合时，避免轻微摩擦产生的污染及损耗，且保证阀板及O‑ring受压均匀，保证阀的使用寿命。

本发明授权一种半导体欠驱动L型运动真空阀门在权利要求书中公布了：1.一种半导体欠驱动L型运动真空阀门，其特征在于，包括阀板，阀板座，真空螺钉，止推轴承，波纹管一体轴，气缸座，气缸，限位座，支点轴承，连杆座，支点连杆，连接轴，挡圈，衬套，短连杆，扭簧，气缸连接座，支撑板，封板，外壳； 所述气缸上端通过螺钉与气缸座固接，气缸下端与气缸连接座连接；气缸连接座通过螺钉与连杆座连接； 气缸座通过螺钉固定在阀体基板上；支撑板上端通过螺钉连接在气缸座上，支撑板下端通过螺钉连接在封板上；外壳通过螺钉连接在气缸座和封板上；阀体基板内固定连接有限位座； 所述阀板和阀板座通过真空螺钉与止推轴承连接在一起； 波纹管一体轴前端贯穿限位座和阀体基板通过真空螺钉与止推轴承连接； 波纹管一体轴通过支点连杆和短连杆与连杆座连接； 波纹管一体轴位于上方的连接轴通过支点轴承和挡圈与支点连杆轴接； 波纹管一体轴位于下方的连接轴通过支点轴承和挡圈与短连杆轴接； 连杆座通过衬套、扭簧和挡圈与支点连杆轴接； 连杆座通过衬套、扭簧和挡圈与短连杆轴接。

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