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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116298391B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211598460.X，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路是由徐姣;孙海荣;常玉春;汪家奇;卢宏斌;潘冲设计研发完成，并于2022-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路在说明书摘要公布了：本发明涉及集成电路设计领域，尤其涉及一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路。本发明使用nbitDAC采样量化高频激励信号后得到更小幅值的激励信号施加到单位补偿电容上，可以等效形成12n倍的单位补偿电容，从而能够在相同工艺下更加精细化地补偿加速度计敏感单元的零偏；在更高的零偏补偿精度相同的情况下，采用该种方法相比于采用直接级联物理电容的方法的面积更小，且该方法不受物理电容的工艺大小和失配的限制，理论能达到的补偿精度远远大于直接级联物理电容。

本发明授权一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路在权利要求书中公布了：1.一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路，其特征在于，所述的改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路包括： 1nbit的二进制DAC电阻阵列，用于对高频激励信号进行采样量化形成更小幅值的高频激励信号； 2mbit的二进制权重的补偿电容阵列，用于对加速度零偏进行粗调节； 3精细化零偏补偿单元，用以精细化补偿MEMS加速度敏感元件的零偏； 4数字单元，控制nbitDAC电阻阵列对激励方波进行采样缩小以形成更小幅值的高频激励方波，同时产生数字码控制mbit的二进制权重的补偿电容阵列选择相应的开关进行零偏补偿； 5信号发生器，用于产生加速度计调制加速度信号的高频激励信号； 6参考电容，与加速度计敏感元件形成的电容构成完整的全桥电容桥；7CV转换电路，用于将加速度敏感元件、接入的零偏补偿电容的电容变化ΔC转换成电压变化ΔV给后续电路处理； 所述的加速度计敏感元件，表征电容式加速度计的MEMS表头敏感电容部分，用于感应外界加速度变化转换为电容信号，加速度计敏感元件的上极板和中间极板构成电容Ctop，加速度计敏感元件的中间极板和下极板构成电容Cbot； 进一步地，所述的mbit的二进制权重的补偿电容阵列由两个完全相同的电容阵列C1和C2构成；电容阵列C1由m个结构相同的子单元构成，每个子单元包括一个电容和三个开关，其中，子单元的第一开关的第二端子连接在电容的上极板，子单元的第二开关跨接在电容两端，子单元的第三开关的第一端子连接在电容的下极板，m个子单元的第一开关的第一端子连接在一起构成电容阵列C1的第一端子，m个子单元的第三开关的第二端子连接在一起构成电容阵列C1的第二端子；电容阵列C1所包含的m个子单元里的电容的容值大小成二进制权重分布；电容阵列C1的第二端子和电容阵列C2的第一端子相连接构成mbit的二进制权重的补偿电容阵列的第二端子；C1的第一端子同时也是mbit的二进制权重的补偿电容阵列的第一端子，C2的第二端子同时也是mbit的二进制权重的补偿电容阵列的第三端子； 进一步地，所述的精细化零偏补偿单元包括两个零偏补偿电容C3和C4和六个开关；其中，精细化零偏补偿单元的第一开关的第二端子和零偏补偿电容C3的上极板相连接，精细化零偏补偿单元的第二开关跨接在零偏补偿电容C3的两端，精细化零偏补偿单元的第三开关的第一端子和零偏补偿电容C3的下极板相连接，精细化零偏补偿单元的第三开关的第二端子和精细化零偏补偿单元的第四开关的第一端子相连接构成精细化零偏补偿单元的第二端子，精细化零偏补偿单元的第四开关的第二端子和零偏补偿电容C4的上极板相连接，精细化零偏补偿单元的第五开关跨接在零偏补偿电容C4的两端，精细化零偏补偿单元的第六开关的第一端子和零偏补偿电容C4的下极板相连接；同时精细化零偏补偿单元的第一开关的第一端子也是精细化零偏补偿单元的第一端子，精细化零偏补偿单元的第六开关的第二端子也是精细化零偏补偿单元的第三端子； 进一步地，加速度计敏感元件电容由两个电容Ctop和Cbot构成，加速度计敏感元件的上极板和中间极板构成电容Ctop，加速度计敏感元件的中间极板和下极板构成电容Cbot；参考电容由两个电容Crtop和Crbot构成，参考电容Crtop的下极板和Crbot的上极板相连接，参考电容用于和加速度敏感元件构成的两个电容搭建形成全桥电容架构； 进一步地，所述的CV转换电路由全差分的运放和反馈电容Cf、反馈电阻Rf构成；反馈电容Cf的上极板连接至运放输入端，反馈电容Cf的下极板连接至运放的输出端；反馈电阻Rf的一端连接至运放输入端，反馈电阻Rf的另一端连接至运放的输出端； 进一步地，所述的信号发生器产生两个幅值相同相位相反的正负高频激励信号Vcar和Vncar；所述的二进制nbit的DAC电阻阵列输入端接信号发生器产生的高频激励信号Vcar，输出端产生更小幅值的高频激励信号Vsample； 进一步地，所述的mbit的二进制权重的补偿电容阵列的第一端子和精细化零偏补偿电容的第一端子、加速度计敏感元件的上极板、参考电容Crtop的上极板以及CV转换电路的运放的同相输入端相连接，mbit的二进制权重的补偿电容阵列的第二端子、加速度敏感元件的中间极板和信号发生器产生的同相高频激励信号Vcar相连接，mbit的二进制权重的补偿电容阵列的第三端子和精细化零偏补偿单元的第三端子、加速度计敏感元件的下极板、参考电容Crbot的下极板以及CV转换电路的运放的反相输入端相连接；精细化零偏补偿单元的第二端子和nbit的DAC输出相连接；参考电容Crtop的下极板和Crbot的上极板与信号发生器产生的反相高频激励信号Vncar相连接。

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