北京北方华创微电子装备有限公司王建获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利感应线圈组件驱动系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115734412B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211519132.6，技术领域涉及：H05B6/36；该发明授权感应线圈组件驱动系统及其控制方法是由王建设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本感应线圈组件驱动系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种感应线圈组件驱动系统及其控制方法，其中，所述感应线圈组件驱动系统包括：旋转驱动器；升降组件，旋转驱动器通过升降组件与感应线圈组件驱动连接，以驱动感应线圈组件升降；控制器，用于基于在预设时长内，感应线圈组件的目标升降速度，确定旋转驱动器的理论转速，理论转速为旋转驱动器在预设时长内匀速运行的转速；确定旋转驱动器的理论转速是否小于或等于预设转速，预设转速为旋转驱动器产生振动的临界转速；在旋转驱动器的理论转速小于或等于预设转速的情况下，控制旋转驱动器在预设时长内，交替停止运行和以目标转速运行，以使旋转驱动器在预设时长内的平均转速等于理论转速，目标转速大于预设转速。
本发明授权感应线圈组件驱动系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种感应线圈组件驱动系统，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括： 旋转驱动器（110）； 升降组件（130），所述旋转驱动器（110）与所述升降组件（130）驱动连接，所述升降组件（130）用于与感应线圈组件传动连接，以驱动所述感应线圈组件升降；以及， 控制器（150），用于基于在预设时长内，所述感应线圈组件的目标升降速度，确定所述旋转驱动器（110）的理论转速，其中，所述理论转速为所述旋转驱动器（110）在所述预设时长内匀速运行的转速； 确定所述旋转驱动器（110）的所述理论转速是否小于或等于预设转速，其中，所述预设转速为所述旋转驱动器（110）产生振动的临界转速； 在所述旋转驱动器（110）的所述理论转速小于或等于所述预设转速的情况下，控制所述旋转驱动器（110）在所述预设时长内，交替停止运行和以目标转速运行，以使所述旋转驱动器（110）在所述预设时长内的平均转速等于所述理论转速，其中，所述目标转速大于所述预设转速。
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