西北工业大学上海闵行协同创新中心;西北工业大学吉博文获国家专利权
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龙图腾网获悉西北工业大学上海闵行协同创新中心;西北工业大学申请的专利一种仿生三维软弹皮层微电极及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115893298B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211398612.1,技术领域涉及:B81B7/00;该发明授权一种仿生三维软弹皮层微电极及其制备方法是由吉博文;孙凡淇;尤小丽;李想;王昊超;扈慧静;周宇昊;常洪龙设计研发完成,并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种仿生三维软弹皮层微电极及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种仿生三维软弹皮层微电极及其制备方法,环绕电极触点一圈带有爪形结构,弯折后可充分包裹并粘合软弹硅胶凸台,以此保证柔性聚合物薄膜微电极兼具较高的机械强度和保形接触能力;在制备时,首先基于MEMS技术在沉积有金属牺牲层的硅片上制作二维柔性微电极,然后浸没在盐酸溶液中,腐蚀金属牺牲层,使微电极从硅片上释放下来;然后用毛细玻璃管将微电极顶入具有圆柱形凹坑的模具中;接下来将液态软性硅胶逐一注入各个凹坑,完全填充所有凹坑;最后待液态软性硅胶完全凝固,抬起微电极,与模具分离。本发明有效解决了目前柔性聚合物薄膜微电极衬底厚度和保形贴附能力之间的平衡问题,为新型微创植入式脑机接口电极发展提供了重要参考。
本发明授权一种仿生三维软弹皮层微电极及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种仿生三维软弹皮层微电极,其特征在于,包括电极模块、电极柔性衬底、电极金属导线和电极焊盘;所述电极模块包括电极臂结构、电极触点、电极爪形结构和软弹硅胶凸台; 所述电极焊盘设置在电极柔性衬底表面;所述电极金属导线设置在电极柔性衬底内部;多个电极模块与相同数量的电极焊盘通过电极金属导线一一对应连接; 所述电极爪形结构包括多个电极爪;所述电极触点设置在电极爪形结构的中心位置,电极触点上端面裸露;电极爪形结构的中心部分贴附在软弹硅胶凸台的顶部端面;多个电极爪均匀分布在电极触点周围,电极爪沿软弹硅胶凸台的顶部端面边缘弯折后贴附在软弹硅胶凸台的侧面周围;所述电极爪在弯折处的两侧设置根部狭缝,根部狭缝的宽度为8-12微米,长度为30-50微米;所述电极柔性衬底上开有多个孔,每个软弹硅胶凸台的下端面与电极柔性衬底平行并探入电极柔性衬底的一个孔中; 所述电极臂结构为带状,设置在任意两个电极爪之间并贴附在软弹硅胶凸台侧面;电极臂结构下端与电极金属导线一端电连接,电极臂结构上端与电极触点电连接。
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