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合肥工业大学劳召欣获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利一种大高径比微米级结构的刚度测量方法及其系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115931265B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211184995.2,技术领域涉及:G01M5/00;该发明授权一种大高径比微米级结构的刚度测量方法及其系统是由劳召欣;祁乔乔;吴思竹;陈超设计研发完成,并于2022-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种大高径比微米级结构的刚度测量方法及其系统在说明书摘要公布了:本发明属于仪器仪表领域,具体涉及一种大高径比微米级结构的刚度测量方法及其系统。测量方法步骤如下:S1:将待测微结构的样品固定在水平的测试台上,并在样品的上方设置一根可测形变量和或横向压应力的竖直的应变探针。S2:移动应变探针至与待测微结构侧壁刚好接触的位置。S3:将应变探针向待测微结构移动,测量待测微结构的形变量,以及应变探针对应的形变量或横向压应力。S4:基于上步骤的检测结果计算各时刻对应的微柱刚度。S5:基于获取的数据拟合出一个用于表征微柱刚度变化的测试函数。S6;将测试函数中斜率保持恒定段的函数值作为待测微结构的刚度。本发明克服了现有测量方法和仪器无法精准测量大高径比微米级结构刚度的问题。

本发明授权一种大高径比微米级结构的刚度测量方法及其系统在权利要求书中公布了:1.一种大高径比微米级结构的刚度测量方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:将待测微结构的样品固定在水平的测试台上,并在样品的上方设置一根可测形变量S和或横向压应力F的竖直的应变探针; S2:移动所述应变探针至与所述待测微结构侧壁刚好接触的位置,并调整应变探针的高度使得应变探针与待测微结构沿高度方向上部分重合; S3:预设每次移动的进给量x0,将应变探针沿水平面内的一个固定方向按照进给量x0逐次移动;并测量不同时刻对应的待测微结构的形变量S2,以及应变探针对应的形变量S1或横向压应力F; 其中,形变量S1和S2分别为应变探针和微结构在应变探针进给方向上相对初始位置的位移; S4:基于上步骤的检测结果,通过以下两式的任意一项计算各时刻对应的微柱刚度K2: 或 上式中,K1表示已知的应变探针的材料刚度; S5:基于上步骤获取的一系列的离散数据,拟合出一个用于表征微柱刚度变化的测试函数K2t; S6;将上步骤拟合出的测试函数K2t中斜率保持恒定的一段的函数值K2作为待测微结构的刚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥工业大学,其通讯地址为:230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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