东南大学魏家行获国家专利权
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龙图腾网获悉东南大学申请的专利一种隧穿功率器件及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115394845B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211175790.8，技术领域涉及：H10D12/00；该发明授权一种隧穿功率器件及其制造方法是由魏家行;朱旭东;付浩;隗兆祥;刘斯扬;孙伟锋;时龙兴设计研发完成，并于2022-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种隧穿功率器件及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种隧穿功率器件及其制造方法。包括，N型衬底，N型外延层，倾斜侧壁的第一源极区，第一源极区下方设有P型区域，外延层上方设有栅氧化层和栅电极，栅电极的上方设有钝化层，第一源极区上表面设有第二源极区，衬底下表面设有漏极金属。本发明的优势在于，隧穿功率器件降低了器件关断时的漏电流；第一源极区与漂移区形成的肖特基接触改善了器件的第三象限特性，减小了器件的动态功耗；显著降低了功率器件的元胞宽度，具有更低的导通电阻，降低了器件的静态功耗；侧壁倾斜的第一源极区减弱了隧穿点的耗尽作用，同时削弱了静电屏蔽效应，提高了器件的正向导通电流。
本发明授权一种隧穿功率器件及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种隧穿功率器件，其特征在于，包括：N型衬底1，在N型衬底1的一个表面上设有漏极金属9，在N型衬底1的另一个表面上设有N型外延层2，在N型外延层2上设有P型区域3，在P型区域3上设有侧壁倾斜的第一源极区4，在第一源极区4上连接有第二源极区5与栅氧化层8，在栅氧化层8上方设有栅电极7，栅电极7上方设有钝化层6，钝化层6将栅电极7和第二源极区5隔开。
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