武汉帝尔激光科技股份有限公司陈州尧获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉帝尔激光科技股份有限公司申请的专利晶圆切割路径生成及激光切割方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115890012B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211164487.8,技术领域涉及:B23K26/38;该发明授权晶圆切割路径生成及激光切割方法是由陈州尧;艾辉;姚峰;张亮;何成设计研发完成,并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆切割路径生成及激光切割方法在说明书摘要公布了:本发明公开了晶圆切割路径生成方法及激光切割方法,包括如下步骤:获得切割区域信息;扫描切割区域,获得切割区域形貌并生成扫描区域的拟合面信息;根据拟合面信息获取当前拍照高度,依据当前拍照高度用精定位相机执行图像采集;依据设定阈值评价当前切割图像,若达到阈值,则依据当前图像位置和当前拍照位置分析生成切割路径的当前第一三维切割点信息;若达不到阈值,调整拍照高度获取多个高度下的多个切割图像,对多个切割图像执行评价,选择最佳第一图像位置及对应的调整拍照位置分析生成当前第一三维切割点信息;生成多个三维切割点信息,拟合生成切割路径并执行切割方法。按照本发明的切割路径生成方法及切割方法,显著提高晶圆切割精度。
本发明授权晶圆切割路径生成及激光切割方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆切割路径生成方法,其特征在于,包括如下步骤: 采用轮廓相机采集晶圆轮廓图像信息,获得切割区域信息; 采用表面形貌探测装置扫描所述切割区域,获得切割区域表面形貌信息并生成扫描区域的拟合面信息; 在一切割图像采集位置根据拟合面信息获取当前拍照高度,依据所述当前拍照高度用精定位相机执行当前切割图像采集; 依据设定阈值评价当前切割图像, 若达到阈值,则依据当前图像位置和当前拍照位置分析生成切割路径的当前三维切割点信息; 若达不到阈值,调整拍照高度获取多个高度下的多个切割图像,对所述多个切割图像执行评价,选择最佳图像位置及对应的调整拍照位置分析生成当前三维切割点信息; 更新切割图像采集位置重复上述步骤对应生成多个三维切割点信息,拟合生成切割路径。
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