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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种旋涂薄膜膜厚演化与分布的在线测试装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115355833B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211034056.X，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种旋涂薄膜膜厚演化与分布的在线测试装置是由周平;张正宇;闫英;刘秋雨;郭东明设计研发完成，并于2022-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种旋涂薄膜膜厚演化与分布的在线测试装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种旋涂薄膜膜厚演化与分布的在线测试装置，包括旋涂成膜单元和测试与定位单元。本发明基于单色光干涉原理，对某一指定局部区域的旋涂过程进行在线测试。通过测得的干涉图像演化计算出所述区域的膜厚演化过程。为探究旋涂成膜技术中薄膜不同位置区域膜厚演化机理、进一步地全平面膜厚演化提供了高效测试装置。本发明充分考虑到旋涂成膜技术短时间、高转速与高平稳性要求的特点，通过采用同步罩与旋涂转台间接连接、即测试与定位单元通过传动齿轮组与旋涂转台连接，光学检测单元与被测薄膜同步转动。在保证旋涂转台高速且平稳运行的前提下对基板上某局部区域干涉图像演化进行连续测试。

本发明授权一种旋涂薄膜膜厚演化与分布的在线测试装置在权利要求书中公布了：1.一种旋涂薄膜膜厚演化与分布的在线测试装置，其特征在于：包括旋涂成膜单元和测试与定位单元； 所述旋涂成膜单元包括旋涂转台1与基板2；所述基板2固定于旋涂转台1的旋转中心，基板2表面旋涂薄膜33，基板2表面旋涂薄膜区域即覆膜区域；所述旋涂成膜单元用于设置不同的角速度ω以提供不同转速下的膜厚演化样本； 所述测试与定位单元包括光学测试模块与定位模块； 所述光学测试模块包括CCD相机5、显微镜头6、单色光同轴光源7和调焦架托8，所述CCD相机5为带有无线传输或内置存储功能的高帧率相机，并且与显微镜头6的目镜端连接；所述单色光同轴光源7与显微镜头6的物镜端连接；所述显微镜头6与调焦架托8连接；所述光学测试模块利用单色光干涉原理，连续记录指定局部区域的干涉图像演化； 所述定位模块包括同步罩3、电动丝杠导轨组4、配重块9、传动齿轮组11与环形滑轨10；所述同步罩3包括面板和圆筒，所述面板与圆筒的上端固定连接，所述面板上设置透明薄板12，所述透明薄板12的面积大于基板2的面积且完全覆盖基板2；所述面板沿圆周边缘均匀设置安装孔；所述同步罩3的下端与环形滑轨10滑动连接； 所述电动丝杠导轨组4包括两台丝杠导轨、三个锥齿轮组成的齿轮组和一台驱动电机；所述两台丝杠导轨同轴水平对称放置，两台丝杠导轨的丝杠内端分别与两个锥齿轮连接；所述驱动电机的输出轴与中心锥齿轮连接；所述驱动电机通过中心锥齿轮同时带动两侧的锥齿轮旋转进而带动两侧的丝杠旋转，驱使两侧丝杠导轨上的滑块同时向外侧或内侧移动；所述丝杠导轨的外端通过螺栓与面板上的安装孔固定连接； 所述光学测试模块安装于丝杠导轨组的一侧的滑块上，所述配重块9安装于动丝杠导轨组的另一侧的滑块上，保证定位模块的质量平衡； 所述定位模块通过丝杠导轨组实现光学测试模块的径向移动，并且移动距离大于基板2中心至边缘的最大距离； 所述旋涂成膜单元和测试与定位单元通过传动齿轮组11连接，并且保持同步转动；所述传动齿轮组11包括安装于旋涂转台1主轴上的主动轮13、安装于同步罩3内侧的内齿圈15和若干偶数个中间齿轮14，并且齿比分配保证旋涂转台1与同步罩3的转速相同。

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