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哈尔滨工业大学赵东方获国家专利权

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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115371551B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211001788.9,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪是由赵东方;崔俊宁;边星元;谭久彬设计研发完成,并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪在说明书摘要公布了:基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪属于精密测量仪器;本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架;在主机座上可纵向移动配装带有纵向激光反射镜、横向激光反射镜、立向激光反射镜的样品固配座;立轴通过立向运动座、横向运动座配装在横向导轨上,可通过立轴在横向和立向上移动横向激光干涉仪、纵向激光干涉仪、立向激光干涉仪及探针;本发明通过楔形气浮结构提高了纵向滑动件底面充裕的空间,于纵向滑动件底面设置立向激光反射镜和立向激光干涉仪,使得本发明具有微纳米级测量精度的同时,兼具大测量范围,可以实现对大尺寸微纳米级精度零件的高精度测量。

本发明授权基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪在权利要求书中公布了:1.一种基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪,其特征在于:在主机座1-3上端开设楔形安装槽,楔形安装槽空间内侧部位可纵向往复运动的配装纵向滑动件3-5,所述纵向滑动件3-5底部配装立向激光反射镜3-4,纵向滑动件3-5上端面固装样品固配座3-3,纵向滑动件3-5两侧斜面设置气浮面;横向激光反射镜3-2、纵向激光反射镜3-1垂直安装于样品固配座3-3横向左侧和纵向后侧,所述立向激光反射镜3-4、横向激光反射镜3-2、纵向激光反射镜3-1在空间中呈正交配置,横向滑轨1-1上配装横向运动座1-5和立向运动座1-4,横向运动座1-5可带动立轴1-6横向往复移动的配装在横向滑轨1-1上,在所述立向运动座1-4中配装可立向往复移动的立轴1-6,吊挂架2-1固装于立轴1-6下端部,吊挂架2-1下端部安装探针2-2,横向激光干涉仪2-3、纵向激光干涉仪2-4、立向激光干涉仪2-5固装在吊挂架2-1上,所述立向激光反射镜3-4、横向激光反射镜3-2、纵向激光反射镜3-1及样品固配座3-3处于吊挂架2-1相对空间内侧,主机座1-3中部设置空间设置安装于吊挂架2-1上的立向激光干涉仪2-5;所述横向激光干涉仪2-3、纵向激光干涉仪2-4、立向激光干涉仪2-5产生激光光线依次分别与横向激光反射镜3-2、纵向激光反射镜3-1、立向激光反射镜3-4垂直,且三束激光光线中测距激光光束汇集在探针2-2的测球中心; 所述探针2-2在立向和横向移动,样品固配座3-3在纵向移动; 所述横向激光干涉仪2-3获取横向轴位移为x″,获取偏航角为ry,获取俯仰角为rz; 所述纵向激光干涉仪2-4获取纵向轴位移为y″,获取旋转角rx; 通过立向激光干涉仪2-5获取立向轴位移为z″; 根据补充公式计算被测样件补偿后的横向轴位移x′、纵向轴位移y′、立向轴位移z′; 补充公式为:

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学,其通讯地址为:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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