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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115371552B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211001791.0，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪是由赵东方;崔俊宁;边星元;谭久彬设计研发完成，并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪在说明书摘要公布了：立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪属于精密测量仪器；本测量仪中反射镜组及探针一体化设计，置于角度位移测量组件相对空间内测，使得仪器测量结构简单、紧凑；且反射镜组及激光干涉仪安装块分别使用一整块零膨胀微晶玻璃制作，消除了超精密测量仪器中的主要的热膨胀误差对测量精度的影响，同时使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具了结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。

本发明授权立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪在权利要求书中公布了：1.一种立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪，其特征在于：包括主机座100，在所述主机座100的上侧间隔设置有立向支撑柱200，两根所述立向支撑柱200的顶部设置有轴座300； 所述主机座100上侧且位于两根立向支撑柱200之间设置有横向纵向移动机构400，所述横向纵向移动机构400的上侧面设置角度位移测量组件500； 所述轴座300上沿竖直方向滑动设置有立轴710；所述轴座300上设置有控制所述立轴710沿竖直方向移动的立轴纳米电机720，以及设置缓冲气缸730对立轴710进行重力补偿； 所述立轴710竖直两侧，靠近探针组件600的一端分别开设固定槽770，所述缓冲气缸730由缓冲气缸固定块740固定安装于所述立向连接孔750内壁，且缓冲气缸730的伸缩端连接所述固定槽770内壁；所述立轴710下端面设置有探针组件600； 所述角度位移测量组件500由横向激光干涉仪510、纵向激光干涉仪520、立向激光干涉仪530及激光干涉仪安装块540组成，立向激光干涉仪530安装于激光干涉仪安装块540内侧凹槽处，横向激光干涉仪510和纵向激光干涉仪520安装于激光干涉仪安装块540上顶面； 所述激光干涉仪安装块540内侧平面为样品固配面550； 所述样品固配面550上设置有回转轴560，被测样件放置于所述回转轴560上端；所述样品固配面550内侧设置有检测所述回转轴560转动角度的角度测量机构； 所述探针组件600由反射镜块610及探针620组成，反射镜块610底面设置有立向激光反射面612、反射镜块610后侧设置有纵向激光反射面611、反射镜块610左侧设置有横向激光反射面613；所述探针620安装于反射镜块610的相对空间内侧；所述探针组件600安装于角度位移测量组件500相对空间内侧； 所述立向激光反射面612、横向激光反射面613、纵向激光反射面611相互正交。

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