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哈尔滨工业大学崔俊宁获国家专利权

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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115371556B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211003660.6,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪是由崔俊宁;赵东方;边星元;谭久彬设计研发完成,并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪,属于精密测量设备技术领域;前后主机座上端面设置楔形槽,可纵向往复移动配装带有第一激光反射面、第二激光反射面、纵向激光反射面的纵向气浮滑块,纵向气浮滑块安装于半圆运动框架内侧,配装有第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、纵向激光干涉仪及探针的半圆运动框架可沿立向和横向运动;同时探针测头位置置于半圆运动框架中的圆心位置,且第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、纵向激光干涉仪测距激光光束汇聚于探头测头位置,通过上述方案,从结构设计上消除了一阶测量误差,能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。

本发明授权基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪在权利要求书中公布了:1.一种基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪,其特征在于:机体结构100包括后主机座110、外壳120、前主机座130;前主机座130和后主机座110中央内侧部位左右对称配装有外壳120;前主机座130和后主机座110中部位置设置有楔形槽; 在后主机座110下端内侧安装有立向横向驱动机构200,所述立向横向驱动机构200由横向直线导轨210、横向导轨安装平台220、立向直线导轨230、立向导轨安装平台240组成,所述横向导轨安装平台220安装于后主机座110下端面内侧,横向直线导轨210安装于横向导轨安装平台220之上,所述立向导轨安装平台240可横向往复运动的安装于横向直线导轨210上,立向直线导轨230固定于立向导轨安装平台240上,探针模块框架440下端部平面可立向往复运动的安装于立向直线导轨230上; 所述探针模块框架440上端部半圆内侧面固装有第一激光干涉仪410、第二激光干涉仪420,探针400安装于探针模块框架440上端面,探针模块框架440后侧安装有吊挂架450、纵向激光干涉仪430由吊挂架450固定; 纵向运动模块300包括第一激光反射面310、第二激光反射面320、纵向激光反射面330、气浮面340、回转轴350、样品固配面360、挡板370组成,所述纵向运动模块300可纵向往复运动的安装于前主机座130和后主机座110楔形槽内部,纵向运动模块300中第一激光反射面310、第二激光反射面320、纵向激光反射面330相互垂直,所述第一激光反射面310、第二激光反射面320纵向前侧和纵向后侧分别对称设置气浮面340,第一激光反射面310、第二激光反射面320未设置气浮面中段用于反射激光光线; 所述纵向运动模块300设置于探针模块框架440相对空间内侧; 所述纵向运动模块300后侧设置有纵向驱动模块500,纵向驱动模块由驱动杆510和驱动电机520组成,纵向运动模块300由纵向驱动模块500驱动,沿前主机座130和后主机座110楔形槽纵向移动; 所述第一激光干涉仪410、第二激光干涉仪420及纵向激光干涉仪430产生激光光线依次分布第一激光反射面310、第二激光反射面320、纵向激光反射面330垂直,且激光光线中的测距激光光束汇集于探针400测头中心,所述探针400测头中心位于探针模块框架440半圆形结构圆心处。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学,其通讯地址为:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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