哈尔滨工业大学崔俊宁获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115388772B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211003570.7,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪是由崔俊宁;赵东方;边星元;谭久彬设计研发完成,并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪在说明书摘要公布了:十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪属于精密测量设备;本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架,在主机座上可纵、横向移动配装带有三角激光反射镜、反射镜安装架、纵向激光反射镜的十字形运动面,由横向气浮轴套、纵向气浮轴套、横向连接件、纵向连接件组成的横、纵向移动驱动机构安装在运动座上,可驱动十字形运动面于横纵方向高精度移动,通过立向移动机构可立向移动第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、第三激光干涉仪及探针;通过采用上述方案,能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
本发明授权十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪在权利要求书中公布了:1.一种十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪,其特征在于:在主机座1-3上左右侧分别安装立向支撑柱1-2;轴座1-1支撑配装在立向支撑柱1-2上; 所述轴座1-1沿竖直方向开设有贯穿的立向连接孔4-5,所述立向连接孔4-5内壁开设有安装槽4-6;在所述立向连接孔4-5上可立向上下移动地插装立轴4-1、在所述立轴4-1下端部固装有安装块2-1、探针2-3安装在所述安装块2-1下端面; 所述立轴4-1竖直两侧,靠近探针2-3的一端分别开设固定槽4-7,缓冲气缸4-3由气缸固定块4-4固定安装于所述立向连接孔4-5内壁,且缓冲气缸4-3的伸缩端连接所述固定槽4-7内壁;立轴纳米电机4-2安装于所述安装槽4-6内,所述立轴纳米电机4-2输出轴沿直线移动,且可带动所述立轴4-1沿竖直方向滑动; 在所述主机座1-3上端面、两根立向支撑柱1-2内侧配装有运动座3-5,在运动座3-5左侧和右侧分别配装横向气浮轴套3-3,利用横向连接件3-7连接左右侧横向气浮轴套3-3,在运动座3-5前侧和后侧分别配装纵向气浮轴套3-9,利用纵向连接件3-8连接前后侧纵向气浮轴套3-9,在横向气浮轴套3-3和纵向气浮轴套3-9上端安装气浮轴套上盖3-4以固定十字运动面3-6,所述十字运动面3-6上端面配装样品固配座3-10,样品固配座3-10上左侧和右侧安装反射镜安装架3-2,所述反射镜安装架3-2上分别对称安装三角激光反射镜3-1,所述反射镜安装架3-2后侧固装纵向激光反射镜3-11,两个三角激光反射镜3-1及纵向激光反射镜3-11反射面相互垂直,两个三角激光反射镜3-1及纵向激光反射镜3-11由微晶玻璃制成;所述样品固配座3-10上端位于两个激光反射镜3-1及纵向激光反射镜3-11相对空间内侧安装有回转轴3-12; 所述安装块2-1左侧、右侧、后侧分别安装有激光干涉仪安装架2-2、第一激光干涉仪2-4、第二激光干涉仪2-5、第三激光干涉仪2-6分别安装在对应的激光干涉仪安装架2-2上,所述第一激光干涉仪2-4、第二激光干涉仪2-5、第三激光干涉仪2-6发射出的激光光线分别与对应的激光干涉仪反射镜面垂直,且三束激光光线中的测距激光光线正交汇集在探针2-3的测球中心。
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