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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115420213B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211001785.5，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪是由赵东方;崔俊宁;边星元;谭久彬设计研发完成，并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪在说明书摘要公布了：基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪属于精密测量设备，由主机座、纵向运动块、立向支撑架构成机架，立轴下端安装星形探针，星形探针上安装有纵向激光干涉仪光纤测头、第二激光干涉仪光纤测头、第一激光干涉仪光纤测头，激光干涉仪光纤测头发射激光光线中的测距功能光束正交汇聚于探针测头中心，且所述激光光线与V形工作台中激光反射镜分别对应垂直；通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。

本发明授权基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪在权利要求书中公布了：1.一种基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪，包括主机座100、纵向运动块200、立向支撑架300、立轴400，其特征在于：所述主机座100上端面配装有可纵向往复运动的纵向运动块200，立向支撑架300配装于主机座100两侧，立向支撑架300上端配装有立轴400，立轴400在立向支撑架300上沿纵向及横向往复运动； 立轴400下端配装有星形探针，所述星形探针由探针连接架510、星形框架520、探针测头530、纵向激光干涉仪光纤测头540、第二激光干涉仪光纤测头550、第一激光干涉仪光纤测头560组成；所述探针测头530安装于星形框架520下端，星形框架520上端面安装有探针连接架510，探针连接架510上端具有三个定位销，连接在所述立轴400下端面； 所述星形框架520具有四个延伸部，左侧、右侧、后侧延伸部分别用于固定第一激光干涉仪光纤测头560、第二激光干涉仪光纤测头550、纵向激光干涉仪光纤测头540；前侧延伸部用于平衡星形框架520重力分布； V形工作台600由前后两侧的两个工作台支撑面610支撑固定于纵向运动块200上端面；V形工作台600中样品固配面630中部，位于第一激光反射面660、第二激光反射面650、纵向激光反射面640相对内侧部位设置回转轴620； 测量仪工作时，V形工作台600位于第一激光干涉仪光纤测头560、第二激光干涉仪光纤测头550、纵向激光干涉仪光纤测头540以及星形框架520构成的空间内侧位置，探针测头530位于第一激光反射面660、第二激光反射面650、纵向激光反射面640及样品固配面630构成的空间内侧位置； 所述第一激光干涉仪光纤测头560、第二激光干涉仪光纤测头550、纵向激光干涉仪光纤测头540发射的激光光线分别对应的垂直于第一激光反射面660、第二激光反射面650、纵向激光反射面640、且第一激光干涉仪光纤测头560、第二激光干涉仪光纤测头550、纵向激光干涉仪光纤测头540发射的激光光线中的测距功能光束正交汇聚于探针测头530测球中心； 所述纵向运动块200带动V形工作台600在纵向方向移动，所述立轴400带动所述星形探针500在竖直和横向方向移动； 所述纵向激光干涉仪光纤测头540获取位移为x″，获取偏航角为ry，获取俯仰角为rz； 所述第一激光干涉仪光纤测头560获取位移为y″，获取旋转角rx； 所述第二激光干涉仪光纤测头550通过获取立向轴位移为z″； 根据补偿公式计算被测样件补偿后的横向轴位移x′、纵向轴位移y′、立向轴位移z′； 所述补偿公式为：

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