合肥芯碁微电子装备股份有限公司项宗齐获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115113492B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210808510.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法是由项宗齐;李香滨;刘国藩;汪涛设计研发完成，并于2022-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法，卷对卷曝光机包括：用于提供料带的放料装置和用于卷收料带的收料装置；曝光装置，曝光装置位于放料装置与收料装置之间，曝光装置沿第一方向依次设置有对位组件、曝光机构和多个精密运动平台；曝光机构包括两个曝光组件，两个曝光组件沿与第一方向垂直的第二方向相对设置，用于在料带悬空于两个曝光组件之间时，对料带同步进行双面曝光；多个精密运动平台交替夹持料带，以沿第一方向匀速拉动料带，并根据对位孔位置信息对料带进行纠偏，以校准料带的对位孔。采用该卷对卷曝光机可以实现连续不断地对料带的双面同时进行曝光，提高曝光效率，解决曝光产品双面对位精度的问题。
本发明授权卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种卷对卷曝光机，其特征在于，包括： 用于提供料带的放料装置和用于卷收所述料带的收料装置； 曝光装置，所述曝光装置位于所述放料装置与收料装置之间，所述曝光装置沿第一方向依次设置有对位组件、曝光机构和多个精密运动平台； 其中，所述对位组件用于获取所述料带的对位孔位置信息，以实现曝光图形与所述料带的对位； 所述曝光机构包括两个曝光组件，两个曝光组件沿与所述第一方向垂直的第二方向相对设置，用于在所述料带悬空于两个曝光组件之间时，对所述料带同步进行双面曝光； 所述多个精密运动平台交替夹持所述料带，以沿所述第一方向匀速拉动所述料带，并根据所述对位孔位置信息对所述料带进行纠偏，以校准所述料带的对位孔。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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